FlexAL 原子層沉積（ALD）
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 OXFORD/英國(guó)牛津
- 型號(hào) FlexAL
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2025/6/5 16:13:14
- 訪問(wèn)次數(shù) 409
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
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在同一設(shè)備中可靈活使用遠(yuǎn)程等離子體與熱ALD
集群式配置保證始終于真空下傳送襯底
盒式對(duì)盒式操作可提高產(chǎn)能以適于量產(chǎn)
對(duì)材料和氣體/液體源的選擇具有更大的靈活性
等離子體ALD可進(jìn)行低溫工藝
使用遠(yuǎn)程等離子體以確保低損傷
通過(guò)配方驅(qū)動(dòng)的軟件界面實(shí)現(xiàn)可控的和可重復(fù)的工藝
可處理高達(dá)200mm的晶圓
牛津儀器有大量的工藝儲(chǔ)備，并且還在不斷開(kāi)發(fā)新的工藝。我們?yōu)樗械腁LD設(shè)備提供延續(xù)不斷的工藝支持，我們還將為您提供關(guān)于開(kāi)發(fā)新材料的建議，同時(shí)繼續(xù)與您共享包括新工藝配方在內(nèi)的新的ALD工藝進(jìn)展。
氣體/液體源前驅(qū)體模式上 - 一體化手套箱 —— 實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)換
一體化端口 - 允許添加實(shí)時(shí)橢偏儀測(cè)量工具
集群式配置 - 始終于真空下傳送襯底
盒式對(duì)盒式操作 - 可提高產(chǎn)能以適于量產(chǎn)
機(jī)器手臂與片盒式 - 可處理100mm，150mm或200mm晶圓（無(wú)需額外設(shè)備進(jìn)行晶圓交換）
所有系統(tǒng)都可以放置于超凈間內(nèi)或嵌入墻體 - 易于放置
自動(dòng)化的200mm晶圓真空傳送 - 工藝靈活性
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