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TFS 500 原子層沉積研究設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

原子層沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,電氣,綜合

TFS 500 是薄膜鍍膜應(yīng)用的理想選擇。作為第一個(gè) Beneq 反應(yīng)器模型,已被證明是用于深入研究原子層沉積研究和穩(wěn)健批處理的多功能工具。TFS 500 是多項(xiàng)目環(huán)境的理想工具。

TFS 500 可以處理多種類型的基材;晶圓、平面物體、顆粒和多孔散裝材料,以及具有高縱橫比特征的復(fù)雜 3D 物體。它還可以配備手動(dòng)操作的負(fù)載鎖,以提高晶圓處理能力。不同類型的反應(yīng)室可以很容易地安裝在真空室內(nèi),這反過來又可以針對每個(gè)客戶應(yīng)用優(yōu)化每個(gè)反應(yīng)室。


TFS 500既滿足了工業(yè)可靠性的嚴(yán)格要求,又滿足了研發(fā)操作靈活性的需求。過程組件是現(xiàn)成的物品,這確保了備件的可用性。所有體容器都可以在短時(shí)間內(nèi)輕松更換。前驅(qū)體準(zhǔn)備包括氣體、液體和固體材料。為了在前驅(qū)體選擇上具有充分的靈活性,我們額外提供了 500 °C 熱源選項(xiàng)。

自2014年以來,Beneq一直與MBRAUN合作,通過提供交鑰匙研發(fā)解決方案來滿足日益增長的OLED市場需求。此次合作的目標(biāo)是將 Beneq 突破性薄膜封裝技術(shù)的專業(yè)知識(shí)與 MBRAUN 的手套箱、定制外殼和獨(dú)立單元相結(jié)合。







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