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KS-CM300/200 單片式化學(xué)清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

清洗設(shè)備

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

KS-CM300/200單片式化學(xué)清洗機(jī)是一款高度專業(yè)化的清洗設(shè)備,廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體制造過程中的清洗工藝。其設(shè)計(jì)使其能夠高效地處理沉積清洗、蝕刻后清洗、離子注入后清洗以及CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)后清洗等多個(gè)步驟,涵蓋了前段工藝(FEOL)和后段工藝(BEOL)的清洗需求。

該設(shè)備特別適配高溫SPM(硫酸-過氧化氫混合液)工藝,具備難以匹敵的工藝覆蓋率,達(dá)到80%以上。這一特性確保了無論是在高溫條件下,還是在苛刻的化學(xué)環(huán)境中,清洗效果依然優(yōu)異,從而極大地增強(qiáng)了晶圓的潔凈度,確保后續(xù)工藝的順利進(jìn)行。

KS-CM300/200還搭載了公司獨(dú)立開發(fā)的新一代高清洗效率低損傷射流噴嘴。這種噴嘴經(jīng)過精心設(shè)計(jì),能夠在提供高洗凈能力的同時(shí),減少對(duì)晶圓表面的潛在損傷,確保即便是最為脆弱的薄膜結(jié)構(gòu)或精細(xì)圖形,也能在清洗過程中得到充分保護(hù)。由此,潔凈度達(dá)到了半導(dǎo)體制造業(yè)先進(jìn)制程所需的嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn),符合芯片生產(chǎn)的需求。

2. 產(chǎn)品優(yōu)勢:

可配置8腔體、12腔體和16腔體,單Chamber占地面積更小
具有雙面清洗能力,可配置多種化學(xué)液:
DHF,SC1,SC2,DIO3,H2SO4,IPA,DSP,ST250,EKC等
自主國產(chǎn)化設(shè)備,搭配芯源高速自研機(jī)械手
SC1/SC2在線及時(shí)混合DMS,可使用多種濃度配比
液體流量一鍵設(shè)定,閉環(huán)反饋?zhàn)詣?dòng)調(diào)節(jié)
Chamber自動(dòng)清洗,減少PM時(shí)間

3. 應(yīng)用域:

RCA標(biāo)準(zhǔn)清洗
氣相沉積清洗
CMP、TSV后清洗
刻蝕后清洗
EPI、ALD清洗

用于聚合物、薄膜材料的去除


相關(guān)分類

等離子體刻蝕設(shè)備


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