TSC-150C/200C CMP后清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
品牌 特思迪
型號(hào) TSC-150C/200C
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間 2025/6/5 21:05:49
訪問(wèn)次數(shù) 415

產(chǎn)品標(biāo)簽

CMP后清洗

在線(xiàn)交流發(fā)送詢(xún)價(jià) 進(jìn)入商鋪同類(lèi)產(chǎn)品

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開(kāi)

冷熱臺(tái)，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

詳細(xì)信息 在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

該系列設(shè)備是碳化硅晶圓拋光后的專(zhuān)用清洗設(shè)備，采用連線(xiàn)式結(jié)構(gòu)，設(shè)備加配全自動(dòng)上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面積小，濕進(jìn)干出，適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗。

產(chǎn)品特點(diǎn)

全自動(dòng)系統(tǒng)

皮帶傳動(dòng)， cassette in/out 干進(jìn)干出

PLC控制系統(tǒng)

觸摸屏操作

清洗工藝

預(yù)清洗/雙面刷洗/藥液噴霧漂洗 /兆聲噴淋/高速甩干/氮?dú)獯蹈?/span>

刷子類(lèi)型

PVA 刷, 雙面刷洗

性能參數(shù)

規(guī)格/參數(shù)	TSC-150C	TSC-200C
工藝	雙面刷洗	雙面刷洗
清洗工位	皮帶傳送式6工位	皮帶傳送式6工位
上下片	全自動(dòng)	全自動(dòng)
晶圓尺寸	3-6 inch	6-8 inch
上料位	浸沒(méi)式	浸沒(méi)式
漂洗（預(yù)清洗）	DIW沖洗	DIW沖洗
刷洗工位*2	2個(gè)PVA刷，雙面刷洗	2個(gè)PVA刷，雙面刷洗
PVA刷轉(zhuǎn)速	30-400 RPM	30-400 RPM
兆聲清洗	可選	可選
氮?dú)獯蹈?/td>	有	有

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