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TWB-200 晶片清洗機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

本機(jī)是一款全自動晶片刷洗機(jī)，全程封閉環(huán)境采用機(jī)械手自動操作，具備刷洗甩干功能，適用于各種半導(dǎo)體襯底材料拋光后的刷洗，可有效減少晶片表面顆粒污染。

功能齊全

具備刷洗甩干功能，全程封閉環(huán)境機(jī)械手操作，風(fēng)險(xiǎn)小，避免二次污染

操作簡便

PLC觸摸屏控制，機(jī)械手自動完成cassette to cassette的全自動晶片刷洗工作

兼容性好

可兼容2、4、6英寸晶片

占地面積小

盡量減少潔凈間的占地面積

性能參數(shù)

項(xiàng)目TWB-200
晶圓尺寸兼容2、4、6inch
全自動上下片系統(tǒng)有
上料平臺2個(gè)
下料平臺2個(gè)
清洗工位2個(gè)
晶片固定真空吸附
刷洗PVA刷，可上下左右移動
干燥方式高速甩干
控制系統(tǒng)PLC觸摸屏




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