Kessel® Pishow® M 8英寸金屬刻蝕設備
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 魯汶
- 型號 Kessel® Pishow® M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/6/5 21:25:35
- 訪問次數(shù) 558
產(chǎn)品標簽
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1. 系統(tǒng)特性
Kessel® Pishow® M 金屬刻蝕設備是面向8英寸集成電路制造的量產(chǎn)型設備
設備由電感耦合等離子體刻蝕腔（ICP etch chamber）、去膠腔（stripchamber）、冷卻腔（cooling chamber）、傳輸模塊（transfer module）構(gòu)成適用于0.11微米及其它技術代的鋁墊刻蝕及鎢回刻（W Recess）工藝也可換用6英寸ESC。
2. 工藝數(shù)據(jù)
鋁墊刻蝕
鋁線工藝
鎢塞刻蝕
3. 詳細介紹
Kessel™ Pishow® M 金屬刻蝕設備為可用于8英寸的IC產(chǎn)線鋁金屬工藝的量產(chǎn)型機臺，基于自有開發(fā)的優(yōu)化設計，保證了優(yōu)異的刻蝕均勻性（片內(nèi)<8%，片間<5%）和顆?？刂?。在4微米厚鋁刻蝕工藝中，可以提供8000片/月的產(chǎn)能。
該設備高性價比的解決方案和優(yōu)秀的空間利用率，可為客戶產(chǎn)能升提供幫助。
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