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ELIONIX-5 超顯微壓痕硬度計

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1 產品概述:

      超顯微壓痕硬度計,作為顯微硬度計的一種高級形式,是專為微小、薄型和脆硬材料硬度測試設計的精密儀器。它結合了現代光學、電子技術和機械設計的最新成果,能夠在極小的尺度下精確測量材料的硬度。該設備廣泛應用于材料科學、機械工程、冶金、地質學、生物醫(yī)學等領域,是實驗室質檢部門、計量院所及科研機構質量控制、材料研究的重要工具。

2 設備用途:

  微小試件測試:超顯微壓痕硬度計特別適用于測量微小、薄型試件的硬度,如金屬箔、薄膜、微小零件等。

  脆硬材料測試:能夠測試玻璃、瑪瑙、人造寶石、陶瓷等脆硬非金屬材料的硬度,滿足這些材料在特殊應用中的性能評估需求。

  表面加工層測試:用于電鍍層、硬化層(如氧化層、滲層、涂鍍層)等表面加工層的硬度測試,評估表面處理質量。

  多點測量與深層分析:在細微部分進行精密定位的多點測量,以及壓痕的深層測試與分析,為材料的微觀力學行為研究提供數據支持。

3 設備特點

  高精度測量:采用高倍率光學測量系統和優(yōu)良的浮點計算方法,確保測試結果的準確性和可靠性。

  無損檢測:壓痕小,對樣品幾乎無損傷,適合在狹小范圍內進行多點測量。

  操作便捷:配備超大屏幕和中文操作系統,操作界面友好,易于上手。

  功能豐富:具備數據存儲、輸出功能,支持多種測試模式和數據分析方法,滿足不同用戶的測試需求。

  穩(wěn)定性強:機械結構穩(wěn)定,采用高品質的光學材料和電子器件,確保設備長期穩(wěn)定運行。

4 技術參數和特點:

 高負載單元

?可進行5μN2N的試驗。

?適用于從金屬材料到高分子材料的各種材料的硬度試驗。

低負載單元

·兼容 0.5 μN 10 mN

·對于軟質材料(彈性模量:幾GPa以下)和10nm以下壓痕深度的測量具有出色的再現性和穩(wěn)定性,可以對100nm以下的超薄膜進行納米壓痕測試。

?能夠以0.1μm為單位進行定位

? 2,000 倍的觀察倍率測量任何位置(使用 20 倍標準物鏡和數碼變焦時)

?支持從 0.5 μN  2,000 mN 的廣泛測試負載

?擋風玻璃內的溫度控制在±0.1℃

?測量部件采用低熱膨脹材料(nobinite


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