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PT500 等離子清洗機

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等離子清洗

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品特點

設備小巧:PT500真空等離子清洗機設計緊湊,適合在實驗室環(huán)境中使用,便于操作和存放。

真空腔容量大:雖然設備小巧,但其真空腔容量足夠大,可以滿足小批量樣品的處理需求。

無高溫清洗:清洗過程不會產(chǎn)生高溫,避免了產(chǎn)品因熱變形而導致的質(zhì)量問題。

廣泛適用性:可以處理各種各樣的材質(zhì),如金屬、半導體、氧化物或高分子材料等,應用廣泛。

一鍵式操控:設備操作簡便,一鍵式操控,提高了工作效率。

無環(huán)境污染:清洗過程中無化學品消耗,機臺本身不產(chǎn)生污染物,符合環(huán)保要求。

2.技術參數(shù)

參數(shù)名稱參數(shù)值

腔體材質(zhì)鋁合金

供電電源AC220V

射頻電源功率0-500W可調(diào)

射頻頻率25KHz

真空度≤100Pa

氣體路數(shù)單路

氣體流量0.1-1l/min(可調(diào))

清洗時間0—999連續(xù)可調(diào)

內(nèi)腔尺寸147mm*145mm(可定制更大尺寸)

外形尺寸452mm380mm225mm(注意:不同來源信息中高度可能略有差異)

重量≈18KG

包裝方式紙箱包裝

3.應用域

PT500真空等離子清洗機廣泛應用于微電子、半導體、光電、航空航天等行業(yè)的制造和實驗研究等域。它是目表面處理工藝的重要設備之一,能夠有效地去除樣品表面的污染物和氧化物,提高樣品的表面質(zhì)量和性能。




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