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EZ4-S 小巧型勻膠機

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勻膠機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產品特點

結構緊湊:EZ4-S設計結構緊湊,易于放入手套箱內操作,適合在有限空間內進行實驗。

操作簡便:采用文本顯示器人機界面,液晶文本顯示,彩色面膜按鍵,操作簡單易用。

高精度:轉速范圍廣泛(100-9999RPM),轉速分辨率高達1RPM,確保實驗結果的精確性。

多步程控:可設置多步程序運行控制,多可設置5組5步程序,滿足復雜實驗需求。

耐腐蝕:外殼采用鋁合金著色氧化處理,內腔采用耐腐蝕材料,經久耐用。

寬電壓適用:配備100W直流無刷電機,寬電壓輸入(AC100-230V),適應不同電源環(huán)境。

2.產品參數(shù)

參數(shù)名稱參數(shù)值
型號EZ4-S
品牌LEBO/雷博
產地江蘇江陰
轉速范圍100-9999RPM
轉速分辨率1RPM
加速度可調范圍100-9999RPM/S
大單步步長3000S
旋轉時間分辨率1S
可處理底物尺寸小于1cm的碎片至4英寸(100mm)圓晶底物
電機類型直流無刷電機
電源輸入AC100-230V
外型尺寸210(W)265(D)220(H)mm(不同來源略有差異,如210mm(W)265mm(D)213mm(H))
標配載物盤直徑10mm、25mm、2英寸(或55mm)三種規(guī)格真空載物盤

3.應用域

EZ4-S小巧型勻膠機廣泛應用于納米薄膜制備、鈣鈦礦薄膜太陽能、有機光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導體及優(yōu)良封裝等域。其高精度、高重復性和靈活配置的特點,使其成為科研和生產中的重要設備。





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