1. 產(chǎn)品概述

SENTECH SENpro 橢圓偏振光譜儀具有操作簡(jiǎn)單、測(cè)量速度快、不同入射角橢偏振測(cè)量的組合數(shù)據(jù)分析等特點(diǎn)。它的測(cè)量光譜范圍為 370 nm 至 1,050 nm。該工具的光譜范圍與先進(jìn)的軟件 SpectraRay/4 相結(jié)合，可以輕松確定單片薄膜和復(fù)雜層疊的厚度和折射率。

2. 主要功能與優(yōu)勢(shì)

離散入射角

SENTECH SENpro 光譜橢圓儀包括一個(gè)角測(cè)角儀，其入射角以 5° 步長(zhǎng) （40° – 90°） 進(jìn)行，以優(yōu)化橢圓測(cè)量。

步進(jìn)掃描分析儀原理

SENpro具有的步進(jìn)掃描分析儀原理。在數(shù)據(jù)采集過程中，偏振器和補(bǔ)償器是固定的，以提供高精度的橢圓測(cè)量。

速度和準(zhǔn)確性

該工具注于測(cè)量薄膜的速度和準(zhǔn)確性，無論它們應(yīng)用于何處。應(yīng)用范圍從 1 nm 的薄層到高達(dá) 15 μm 的厚層。 

可重復(fù)且準(zhǔn)確的結(jié)果

經(jīng)濟(jì)高效的臺(tái)式 SENTECH SENpro 包括 VIS-NIR 橢圓儀光學(xué)元件、5° 步進(jìn)測(cè)角儀、樣品平臺(tái)、激光對(duì)準(zhǔn)、光纖耦合穩(wěn)定光源和檢測(cè)單元。SENpro 配備光譜橢圓儀軟件 SpectraRay/4，用于系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析，包括建模、模擬、擬合和數(shù)據(jù)呈現(xiàn)。即用型應(yīng)用程序文件使操作變得非常容易，即使對(duì)于初學(xué)者也是如此。SpectraRay/4 支持計(jì)算機(jī)控制的均勻性測(cè)量映射。