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SE 400adv PV 激光橢圓儀

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激光膜厚度折射率

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 組成要素 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備

1. 產(chǎn)品概述

多角度激光橢偏儀 SE 400adv PV 在 HeNe 激光波長為 632.8 nm 時,在紋理單晶和多晶硅片上提供抗反射單膜的膜厚度和折射率。可更換晶圓支架允許在多晶硅片和堿性紋理單晶硅片上進行測量。

2. 主要功能與優(yōu)勢

粗糙表面分析

高靈敏度和超低噪聲檢測允許在非理想的、引起雜散光的表面上進行測量,這些表面是紋理化單晶硅和多晶硅太陽能電池的典型特征。

非凡的準確性

由于穩(wěn)定的激光光源、溫度穩(wěn)定的補償器設(shè)置和超低噪聲檢測器,SENTECH SE 400adv PV 激光橢偏儀的主要特點是具有非凡的高穩(wěn)定性和準確性。

精密涂層評估

SENTECH SE 400adv PV激光橢偏儀可以特別分析SiN涂層x、ITO、TiO2和SiO的薄鈍化層2和 Al2O3.可以在光滑的基板上分析雙層堆疊。

該工具是一款緊湊的儀器,可快速啟動和運行。SENTECH易于使用,以配方為導(dǎo)向的軟件包括一個全面的預(yù)定義應(yīng)用程序包,可滿足生產(chǎn)環(huán)境中的研發(fā)和質(zhì)量控制要求。










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