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Beneq P800 原子層沉積ALD

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ALD原子層沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,電氣,綜合

 

1.產(chǎn)品概述:

Beneq P800 門設(shè)計(jì)用于涂覆復(fù)雜形狀的大零件或大批量的小零件。我們的客戶將 P800 用于光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體設(shè)備部件的防腐鍍膜,以及在玻璃或金屬板上使用 ALD 的各種應(yīng)用。

2.產(chǎn)品配置:

大型零件需要大型原子層沉積工具。 Beneq P800 通常用于直徑大于 600mm 的批量零件。大批量生產(chǎn)能力還可以降低較小零件的成本,使原子層沉積在許多應(yīng)用域中具有商業(yè)可行性。根據(jù)每個(gè)客戶的基材和應(yīng)用選擇和設(shè)計(jì)佳的工具設(shè)置和 ALD 工藝。P800 的設(shè)計(jì)使得在反應(yīng)室和底物支架的不同設(shè)置之間切換變得容易。這種內(nèi)置的多功能性意味著您可以使用相同的原子層沉積系統(tǒng)從研發(fā)順利過渡到批量生產(chǎn)。Beneq 提供量身定制的應(yīng)用開發(fā)以及試生產(chǎn)支持,因此您可以在建立自己的 ALD 制造能力之進(jìn)行測(cè)試。

用于厚膜堆疊 > 1 μm) 的理想 ALD 工具。大批量的厚膜堆疊需要大量的驅(qū)體,并產(chǎn)生大量的殘留物和副產(chǎn)物。我們?cè)O(shè)計(jì)的 P800 配備了高容量驅(qū)體源以及驅(qū)體滅活和過濾系統(tǒng),以應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)。Beneq P800 是 35+ 年工業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的結(jié)果,具有大批量 >1μm 厚膜堆棧。

3.產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

維護(hù)更簡單、頻率更低。 沉積厚膜堆疊的原子層沉積工具通常需要每月清潔一次。P800 的高容量泵管路過濾器使該工具即使在大批量生產(chǎn)中也能運(yùn)行數(shù)月而無需維護(hù)。此外,更換 ALD 反應(yīng)室通常需要一整天的時(shí)間,因?yàn)槟枰茸屗鼈兝鋮s下來。P800 設(shè)計(jì)允許用戶簡單地拉出反應(yīng)室和其他需要清潔的部件,從而將時(shí)間縮短到幾分鐘。

避免因維護(hù)而造成不必要的停機(jī)時(shí)間。 Beneq P800 使用多個(gè)反應(yīng)室,這些反應(yīng)室在每次運(yùn)行之間不斷更換,因此您可以大限度地減少與維護(hù)相關(guān)的生產(chǎn)停機(jī)時(shí)間。

Beneq 有的預(yù)熱器。 我們可選的預(yù)熱烤箱縮短了加熱時(shí)間,并進(jìn)一步提高了您的吞吐量。





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