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OCTOS™ 自動薄膜沉積簇工具

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 KURT.J.LESKER
  • 型號 OCTOS™
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2025/6/6 13:08:52
  • 訪問次數(shù) 470

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

Kurt J. Lesker Company OCTOS集群工具是經(jīng)過驗證的研發(fā)和中試生產(chǎn)系統(tǒng),用于在多個工藝室之間進行真空傳輸。®

典型應用包括磁隧道結和自旋邏輯器件(GMR、TMR、MRAM、STT)、有機發(fā)光器件(OLED)、太陽能電池(PV、OPV)。

OCTOS 集群工具具有單個或多個基板盒負載鎖定功能,并允許在真空中完成工藝配方步驟,而無需將基材暴露在大氣中。OCTOS能夠自動按順序處理基材,一次處理一個基材,或者并行處理基材,以提高產(chǎn)量。提供底物跟蹤功能,并標配全過程數(shù)據(jù)記錄。

工藝室圍繞中央機器人分配室布置,以適應您的應用。

KJLC 的 eKLipse 軟件允許用戶友好的配方創(chuàng)建以及可靠、不間斷的控制器,無論計算機用戶界面的狀態(tài)如何,都可以完成過程。有關此直觀、可靠的軟件包的更多信息,請參閱“軟件”選項卡

自 1999 年以來,KJLC 一直在制造 OCTOS 集群工具平臺。我們的大多數(shù) OCTOS 集群工具已成為其所有者的主力軍,并且仍在日常使用,包括已經(jīng)處理了超過 100 萬個基材的工具。

提供的技術:

  • 電子束蒸發(fā)

  • 熱蒸發(fā)

  • 磁控濺射

  • 有機蒸發(fā)

  • 原子層沉積

選項:

  • HV 或 UHV 工藝模塊

  • 等離子清洗

  • 基板退火

  • 口罩儲存和原位口罩更換

  • 手套箱集成

  • 定制工藝模塊

  • 轉(zhuǎn)移到真空分析室,如XPS

  • 與第三方工藝室(如 PLD 或 CVD)集成





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