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D700WR 進(jìn)口HORIBA寬范圍壓敏質(zhì)量流量計(jì)日本制造

參考價(jià) 1980
訂貨量 ≥1個(gè)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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真空機(jī)、離心機(jī):監(jiān)調(diào)儀;真空系統(tǒng),除塵裝量:數(shù)字粉塵儀;環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備環(huán)境、檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類(lèi) 質(zhì)量式
價(jià)格區(qū)間 1-5千 介質(zhì)分類(lèi) 液體
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,汽車(chē)及零部件,電氣

進(jìn)口HORIBA寬范圍壓敏質(zhì)量流量計(jì)日本制造

進(jìn)口HORIBA寬范圍壓敏質(zhì)量流量計(jì)日本制造



微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

D700uF(微流)專(zhuān)為≤5SCCM 流量應(yīng)用而設(shè)計(jì)。≤5SCCM
流量控制在高縱橫比工藝中非常關(guān)鍵。
專(zhuān)用組件和新開(kāi)發(fā)的內(nèi)部低流量標(biāo)準(zhǔn)可實(shí)現(xiàn)低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

事業(yè)部: 半導(dǎo)體
產(chǎn)品分類(lèi): 流體控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 低至 0.025SCCM 的流量控制能力

    • 精確調(diào)節(jié)氣體控制,增強(qiáng)工藝可調(diào)性

  • ≤ 100ms 升壓響應(yīng)和 MFC 到 MFC 偏差控制

    • 實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率和更佳工藝性能

  • 內(nèi)部流量計(jì)量

    • 所有制造產(chǎn)品均具有可靠的性能

  • 狀態(tài)監(jiān)視功能

    • 提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)以實(shí)現(xiàn)更智能的故障預(yù)測(cè)

  • PFA 噴嘴具有更好的閥門(mén)關(guān)閉性能和耐腐蝕性能

    • 堅(jiān)固耐用,顆粒風(fēng)險(xiǎn)低,減少停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量


*1:請(qǐng)聯(lián)系我們以獲取支持的氣體類(lèi)型和滿量程流量。
*2:流量精度可保證低至 0.1 SCCM N? 當(dāng)量。
*3:這是在 25 ℃ 和 ≤ 1.0 × 10 -3 Pa(A) 下的保證值。
*4:這是在我們采用校準(zhǔn) N? 氣體的條件下保證的值。設(shè)置時(shí)間可能因氣體類(lèi)型和操作環(huán)境條件而異。
*5:壓力擾動(dòng)必須小于每秒 20% 的壓力變化和 ±70 kPa/秒(±10 PSI/秒)。
*6:EtherCAT ®是德國(guó) Beckhoff Automation GmbH









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