Thermionics 3KW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍真空組件

RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)噴槍™

RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)噴槍™

新的 Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍™提供增強的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描，坩堝覆蓋，自動分度器（單獨出售）提供自動定位功能。

特征

• 真正的 XY 清掃，坩堝覆蓋

• 源附帶的掃頻線圈

• 增強的光束準直

• 插件發(fā)射器模塊

• 增強的高穩(wěn)定性冷卻

• 交叉污染屏蔽

• 堅固的設(shè)計

• 可選的自動索引器

多坩堝 e-Gun 的工作原理與單坩堝源相同，具有以下優(yōu)點：

• 蒸發(fā)劑供應(yīng)量大 — 當每個坩堝都填充相同的源材料時，可以在單個真空循環(huán)中蒸發(fā)增加的蒸發(fā)劑體積。

• 在一個真空循環(huán)中沉積多達八種不同的材料 — 可以在一個真空循環(huán)中將不同的材料放入每個坩堝中，并按任何順序沉積。沉積速率與單個坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個坩堝。單絲保持靜止，坩堝頭由驅(qū)動手柄分度到位。因此，蒸發(fā)總是來自真空室中的相同的位置。非活性坩堝通過磁極片與加熱的坩堝隔開，從而消除了坩堝之間的污染。

兼容高真空

金屬和彈性體密封件，測量的基壓：2 x 10-9托。

可互換坩堝

主坩堝輪可以從源的頂部拆下，而無需拆卸源。這種靈活性允許現(xiàn)場升級。

所有多坩堝電子噴槍都可以安裝在更大直徑的 ConFlat 或矩形 PyraFlat 法蘭上，單個或背對背。

規(guī)格

安裝配置

每個 e-Gun™ 都提供三種標準安裝配置：

• e-Gun™ 安裝在 PyraFlat 或 ConFlat 金屬密封型法蘭上，使用標準 OFE 銅墊圈

• e-Gun™ 帶有 1 英寸直徑的螺栓式安裝座，可通過 1 英寸直徑的孔安裝，并由壓縮 O 形圈密封

• 單獨使用 e-Gun™，無需安裝法蘭

請在下訂單時安裝配置;成本可能不包括螺栓型或法蘭型安裝。

通常提供其他安裝法蘭、配置和幾何形狀，請致電工廠了解更多信息。

注意：SD 表示側(cè)驅(qū)，BD 表示底驅(qū)

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