Thermionics 差動泵旋轉(zhuǎn)密封  真空組件

RNN™ 系列差動泵送旋轉(zhuǎn)密封

差動泵旋轉(zhuǎn)密封 （RNN） 通過 UHV 系統(tǒng)的真空壁提供 360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn)自由度。RNN 具有兩級差動泵送，由特殊密封表面上的石墨浸漬、膨脹、特氟龍®密封件隔離。預緊的滾珠軸承組可精確控制旋轉(zhuǎn)平臺的位置。RNN 提供蝸桿驅(qū)動微調(diào)選項。這允許更輕松、更準確地調(diào)整角度。RNN 還提供帶消隙步進或同步電機驅(qū)動的產(chǎn)品。

Thermionics 差動泵旋轉(zhuǎn)密封  真空組件

規(guī)格

標準凈內(nèi)徑為 1.53 英寸至 12 英寸的型號，可根據(jù)要求提供更大尺寸可烘烤至 150°C固定法蘭和旋轉(zhuǎn)法蘭，螺紋厚度約為兩個 ConFlat 型法蘭的厚度2 級差壓泵送極限壓力 10-11Torr 系列0–360° 刻度，帶游標RNN-400 和更大型號的典型性能規(guī)格分辨率 lt;0.004°重復精度 lt;0.008°背隙 lt;0.035°

可讀性規(guī)格標準刻度：1.0°機械計數(shù)器：0.1°需要微步電機驅(qū)動才能獲得最大分辨率選項微調(diào)蝸桿傳動微調(diào)數(shù)字讀數(shù)，0.1° 讀數(shù)，機械，不可復位提供機械計數(shù)器選項帶手動旋鈕的消隙步進電機驅(qū)動每整步 0.018°（RNN-150/MS 為 0.0225°/全步）可在 /FA 裝置上提供定制的泵出管長度和曲軸長度負載下面列出了標準的最大負載。在特定應用下可以處理較大的負載。請咨詢工廠以獲取定制應用程序。有效載荷的重心位于裝置極軸的“X”范圍內(nèi)，其中 X 等于 RNN 內(nèi)徑的 10%。有效載荷的重心位于水平安裝裝置上旋轉(zhuǎn)法蘭的“Y”距離內(nèi)，其中 Y 是法蘭內(nèi)徑。真空外部有效載荷的總體最大尺寸“A”為：垂直操作：7 x 法蘭外徑 水平操作：5 x 法蘭外徑 倒置操作：7 x 法蘭外徑