3D光刻是增材制造的一種，基于光固化的原理，是一種前沿的制造技術，以傳統(tǒng)光刻技術為基石，意在構筑繁雜的、高精度的三維結構器件。該技術借助逐層光固化的工作模式，循序漸進地構建出所需的三維結構。其凸顯出顯著的特性，囊括了精度以及多層次的結構。3D光刻的應用范疇寬泛，涵蓋微電子、光學、生物醫(yī)學等眾多關鍵領域。

托托科技的3D光刻技術源自其2D光刻技術，在2D光刻領域長期的技術積淀，致使托托科技的3D光刻設備具備一出世就站在了一個更高的起點。托托科技3D光刻技術的持續(xù)發(fā)展與演進，為相關領域的創(chuàng)新給予了強有力的支撐，促使制造更為復雜和高性能的器件成為可行，也為未來的科技發(fā)展開啟了廣闊的前景。

超高光學分辨率1μm、高精度3D接駁、自動化掃描聚焦、適合多種樹脂/陶瓷材料成形。

織雀PL-3D 是托托科技自主研發(fā)的桌面式高精密微納3D光刻設備，光學精度達5μm。在復雜三維微納結構、高深寬比微納結構以及復合材料三維微納結構制造方面具有突出的潛能和優(yōu)勢，而且還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料種類多、無需掩膜版或模具直接成型的優(yōu)點。

超高精度微納3D光刻設備織雀PL-3D設備亮點：

光學精度5μm

打印層厚<5μm

最小料池體積15ml

支持陶瓷材料

光學實時監(jiān)控

超高精度微納3D光刻設備織雀PL-3D設備應用案例：

樣品名稱：微針尖

整體尺寸：11.2 mm x 8.3 mm x 1.06 mm

尖直徑：5.75 μm

材料：PC01

樣品名稱：陶瓷超材料

整體尺寸：4 mm x 4 mm x 4.3 mm

最小桿徑：30 μm

材料：CA03

樣品名稱：微彈簧

整體尺寸：4 mm x 4 mm x 6 mm

桿徑：55 μm

材料：TA05