作用：去除原水中的懸浮物、泥沙、鐵銹等顆粒雜質(zhì)，降低水的濁度。多介質(zhì)過濾器一般由無煙煤、石英砂等不同顆粒大小的濾料組成，通過物理過濾的方式截留雜質(zhì)。

舉例：當原水通過多介質(zhì)過濾器時，較大顆粒的雜質(zhì)被濾料層阻擋，使出水的濁度明顯降低，為后續(xù)的處理環(huán)節(jié)提供較為清潔的水源。

作用：吸附原水中的有機物、余氯、異味等，改善水的口感和化學(xué)性質(zhì)?；钚蕴烤哂芯薮蟮谋缺砻娣e和豐富的微孔結(jié)構(gòu)，能夠有效地吸附水中的各種污染物。

舉例：如果原水中含有余氯，會對后續(xù)的反滲透膜造成損害，通過活性炭過濾器可以去除余氯，保護反滲透膜。同時，活性炭還可以吸附水中的有機物，降低水中的 COD（化學(xué)需氧量）值。

作用：去除原水中的鈣、鎂離子，降低水的硬度，防止在后續(xù)處理過程中形成水垢。硬水中的鈣、鎂離子在加熱或與其他物質(zhì)反應(yīng)時，會形成碳酸鈣、碳酸鎂等沉淀物，即水垢，影響設(shè)備的運行效率和壽命。

舉例：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，高硬度的水可能會導(dǎo)致管道、設(shè)備結(jié)垢，影響水的流量和壓力，甚至損壞設(shè)備。軟化器通過離子交換的方式，將水中的鈣、鎂離子置換為鈉離子，從而降低水的硬度。

作用：進一步去除水中的微小顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。保安過濾器通常采用濾芯過濾的方式，濾芯的精度一般為 5 微米或 1 微米。

舉例：經(jīng)過預(yù)處理后的水進入保安過濾器，細小的顆粒雜質(zhì)被濾芯攔截，確保進入反滲透膜的水的清潔度，防止反滲透膜被顆粒雜質(zhì)劃傷或堵塞。

作用：反滲透是超純水設(shè)備的核心工藝之一，它利用半透膜的原理，在壓力的作用下，使水通過半透膜而鹽分等雜質(zhì)被截留，從而達到去除水中各種離子、有機物、微生物等的目的，生產(chǎn)出高純度的水。

舉例：反滲透膜的孔徑非常小，只有 0.0001 微米左右，可以有效地去除水中的溶解性固體、細菌、病毒等。反滲透裝置一般由反滲透膜元件、壓力容器、高壓泵等組成。在半導(dǎo)體工業(yè)中，反滲透水通常作為進一步處理的水源，以滿足更高的水質(zhì)要求。

作用：通過離子交換的方式，進一步去除水中的離子雜質(zhì)，使水的電阻率達到更高的水平。離子交換樹脂通常分為陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂，分別用于去除水中的陽離子和陰離子。

舉例：當反滲透水通過離子交換樹脂時，水中的陽離子（如鈉離子、鈣離子等）與陽離子交換樹脂中的氫離子進行交換，水中的陰離子（如氯離子、硫酸根離子等）與陰離子交換樹脂中的氫氧根離子進行交換，從而使水中的離子雜質(zhì)被去除，水的電阻率得到提高。在半導(dǎo)體工業(yè)中，離子交換樹脂通常用于生產(chǎn)電阻率高達 18.2 MΩ?cm 的超純水。

作用：EDI 是一種新型的深度除鹽技術(shù)，它結(jié)合了離子交換和電滲析的原理，在電場的作用下，使水中的離子通過離子交換膜遷移到濃水室，從而實現(xiàn)水的深度除鹽。EDI 裝置具有連續(xù)運行、無需化學(xué)再生、出水水質(zhì)穩(wěn)定等優(yōu)點。

舉例：在半導(dǎo)體工業(yè)中，EDI 裝置通常與離子交換樹脂聯(lián)合使用，進一步提高水的電阻率和純度。EDI 裝置可以去除水中的微量離子雜質(zhì)，使超純水的水質(zhì)達到更高的標準，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中對水質(zhì)的嚴格要求。

作用：對超純水進行殺菌消毒，防止微生物污染。紫外線殺菌器利用紫外線的殺菌作用，破壞微生物的 DNA 結(jié)構(gòu)，使其失去活性。

舉例：經(jīng)過深度除鹽處理后的超純水可能會在儲存和輸送過程中受到微生物的污染，通過紫外線殺菌器可以有效地殺滅水中的細菌、病毒等微生物，保證超純水的衛(wèi)生質(zhì)量。在半導(dǎo)體工業(yè)中，微生物污染可能會導(dǎo)致晶圓表面出現(xiàn)缺陷，影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此紫外線殺菌器是超純水設(shè)備中的一部分。

作用：去除超純水中的微小顆粒和膠體物質(zhì)，進一步提高水的純度。超濾裝置采用超濾膜過濾的方式，超濾膜的孔徑一般在 0.01 微米至 0.1 微米之間，可以有效地去除水中的微小顆粒、膠體、細菌等雜質(zhì)。

舉例：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，超純水的純度要求非常高，任何微小的顆?；蚰z體物質(zhì)都可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響。超濾裝置可以作為最后一道屏障，確保超純水的純度達到半導(dǎo)體工業(yè)的要求。

作用：安裝在超純水設(shè)備的出水口，進一步去除水中的殘留顆粒雜質(zhì)，確保出水的質(zhì)量。終端過濾器通常采用微孔濾芯過濾的方式，濾芯的精度可以根據(jù)實際需要進行選擇。

舉例：在半導(dǎo)體工業(yè)中，終端過濾器可以選擇 0.22 微米或 0.1 微米的濾芯，以確保超純水在輸送到生產(chǎn)設(shè)備之前沒有任何顆粒雜質(zhì)。終端過濾器的更換周期一般較短，需要定期進行檢查和更換，以保證超純水的質(zhì)量。