化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備> 深硅刻蝕系統(tǒng)DEEP SI ETCH
深硅刻蝕系統(tǒng)DEEP SI ETCH
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 15:52:21
- 訪問(wèn)次數(shù) 494
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純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
v 應(yīng)用方向:提供深硅蝕刻(DSiE)領(lǐng)域的MEMS,封裝和納米技術(shù)的廣泛應(yīng)用,從光滑側(cè)壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕,不需要更換腔室硬件就可以實(shí)現(xiàn)
v 產(chǎn)品特點(diǎn):
? 光滑側(cè)壁工藝
? 高刻蝕速率腔刻蝕
? 高深寬比工藝
? 錐形通孔刻蝕
? 機(jī)械或靜電壓盤,加熱內(nèi)襯
? 延長(zhǎng)了兩次清洗間的平均時(shí)間間隔(MTBC)環(huán)形激光陀螺反射鏡
? X射線光學(xué)系統(tǒng)
? 紅外(IR)傳感器
? II-VI族材料,通信濾波器