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電子束光刻系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準

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公司主要銷售實驗室儀器儀表、實驗室儀器設備、散熱材料、增材制造設備、電氣設備、電子產品、通訊器材、機械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機械配件、非標自動化設備、五金工具、實驗耗材和試劑(不含危險化學品)、激光儀器及輔助設備;

電氣設備、信息系統(tǒng)設計、集成;工程管理服務;單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術開發(fā)、技術轉讓和檢驗檢測服務;

計算機軟硬件及輔助設備、信息系統(tǒng)軟件、非標自動化設備的租賃和維修;

銷售醫(yī)療器械、文化辦公用品、五金交電、機械設備、監(jiān)控設備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫(yī)療器械經營、第三類醫(yī)療器械經營;依托進口核心產品做研發(fā):

團隊是由深圳大學從事材料,光學,生物團隊組成,目前核心創(chuàng)始人3位,分別負責材料,生物和光電領域,分別提供相應配套設施以及技術解決方案等;業(yè)務目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個廣東地區(qū),可快速抵達廣東所在區(qū)域提供技術支持和服務。

目前典型服務客戶有:清華大學深圳國際研究生院,哈爾濱工業(yè)大學(深圳),南方科技大學,深圳大學,深圳技術大學,北京大學深圳研究生院,松山湖材料實驗室,大灣區(qū)大學(籌),東莞理工學院,中山大學,暨南大學,華南理工大學,廣東工業(yè)大學等

純水機,離心機,旋轉蒸發(fā)儀,光譜儀,質譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學工作站,,流式細胞儀,手套箱,磁控濺射

v 最小線寬8nm    光柵周期40nm

v 拼接精度:

100μm寫場下,拼接精度≤20nmmean+3sigma

500μm寫場下,拼接精度≤30nmmean+3sigma

v 套刻精度:

100μm寫場下,拼接精度≤20nmmean+3sigma

500μm寫場下,拼接精度≤25nmmean+3sigma

v 束電流穩(wěn)定性<0.2%/h   束位置穩(wěn)定性<120nm/8h

v 50KV加速電壓下,寫場可在0.5μm~500μm的范圍內連續(xù)可調

v 肖特基熱場發(fā)射電子束源,加速電壓50kv,束電流范圍至少為50pA~40nA,束電流40nA

v 圖像發(fā)生器掃描頻率50MHz,20bit分辨率,最小步距為0.5nm

v 通用樣品架可承載散片,4inch以下的襯底,4inch專用晶圓專用樣品架,6inch專用晶圓專用樣品架,多樣品專用樣品架




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