化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備> Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機(jī)
Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機(jī)
- 公司名稱(chēng) 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 16:30:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 312
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
Canon FPA5000 ES4
1.Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機(jī)
光源波長(zhǎng)248nm
分辨率優(yōu)于0.13µm
用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.13µm
N.A.0.5-0.8
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場(chǎng)26mm*33mm
對(duì)準(zhǔn)精度25nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及6" 、8"、12"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材