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晶錠渦流法電阻率測(cè)試儀
- 公司名稱 九域半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/26 10:42:18
- 訪問次數(shù) 374
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣,綜合 |
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晶錠渦流法電阻率測(cè)試儀可以通過渦流測(cè)量高精度和分辨率為1毫米的方式來測(cè)量晶圓片或晶塊的電阻率。由于距離相關(guān)的內(nèi)部布局矩陣,渦流傳感器有一個(gè)非常好的長(zhǎng)期穩(wěn)定性因此,每個(gè)電阻率圖都是測(cè)量表面接地度的幾何圖。電阻率可與少數(shù)負(fù)載流子消耗和光電導(dǎo)率圖同時(shí)測(cè)量。在進(jìn)行電阻測(cè)量時(shí),需要用戶提供樣品的厚度。
晶錠渦流法電阻率測(cè)試儀技術(shù)參數(shù):
步徑≥1mm
邊緣:12mm
電阻率片厚:150-250μm
電阻率范圍
默認(rèn)設(shè)置:0.5-5 Ohm cm
準(zhǔn)確度:<3%
重復(fù)性:<1%(范圍從0.5-3 Ohm cm)
為了研究發(fā)射極擴(kuò)散的均勻性,有可能出現(xiàn)較弱的發(fā)射極的方阻。基礎(chǔ)的電阻率由用戶給出。
方阻測(cè)量范圍為0.1-200 Ohm/sq。
以標(biāo)準(zhǔn)樣品量下的準(zhǔn)確度,
0.1-10 Ohm/sq:<3%精度
10-100 Ohm/sq:<3%精度
100-200 Ohm/sq:<3%精度