CME-200E/400 日本ULVAC愛發(fā)科半導設備化學氣相沉積設備
- 公司名稱 玉崎科學儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CME-200E/400
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/11/25 10:11:47
- 訪問次數(shù) 409
聯(lián)系方式：肖工13530735388 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設備,環(huán)境測量設備 環(huán)境檢測設備
日本ULVAC愛發(fā)科半導設備化學氣相沉積設備
日本ULVAC愛發(fā)科半導設備化學氣相沉積設備
單片PE-CVD設備CME-200E/400
單片式PE-CVD設備CME-200E/400是適合批量生產(chǎn)的PE-CVD設備，適合形成硅基絕緣膜、阻擋膜等。
特征
27.12MHz高密度等離子工藝
SiH 4型：SiO 2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS 型：可提供 SiO 2薄膜
可使用NF 3 +Ar 等離子體清潔腔室
可配備用于有機EL低溫成膜的加熱器
通過托盤傳送支持最大尺寸為□200mm的電路板（CME-200E）（支持CME-400：300×400）
目的
功率器件
LED、LD、高速器件
有機EL
太陽能電池
微機電系統(tǒng)
特別提示：商品詳情頁中（含主圖）以文字或者圖片形式標注的搶購價等價格可能是在特定活動時段下的價格，商品的具體價格以訂單結(jié)算頁價格為準或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達成的實際成交價格為準；如您發(fā)現(xiàn)活動商品價格或活動信息有異常，建議購買前先咨詢商家。
具體的成交價格可能因商品參加活動等情況發(fā)生變化，
也可能隨著購買數(shù)量不同或所選規(guī)格不同而發(fā)生變化，
如用戶與商家線下達成協(xié)議，以線下協(xié)議的結(jié)算價格為準，
如用戶在上完成線上購買，則最終以訂單結(jié)算頁價格為準。
采購中心
化工儀器網(wǎng)