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無(wú)金屬污染循環(huán)式臭氧水生成裝置

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南京博創(chuàng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司成立于2019年主體經(jīng)營(yíng):1.半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備:鍵合/解鍵合設(shè)備/晶圓清洗設(shè)備/涂膠設(shè)備/剝離設(shè)備2.半導(dǎo)體用高清潔傳送設(shè)備:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.納米印壓設(shè)備:8寸/12寸全自動(dòng)量產(chǎn)設(shè)備和R&D研發(fā)設(shè)備4.FDP/PLP設(shè)備:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解鍵合設(shè)備5.UV系列產(chǎn)品:UV Laser/Excimer UV燈/UVLED燈/牛尾-濱松-ORC照度計(jì) 所在地 :江蘇省南京市棲霞區(qū)(新港開發(fā)區(qū))恒泰路6號(hào)



172nm準(zhǔn)分子,臭氧發(fā)生器,照度計(jì),Robot,EB照射器

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,綜合

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無(wú)金屬污染循環(huán)式臭氧水生成裝置采用循環(huán)方式存水?棄水非常少濃度上升快(1分鐘內(nèi)生成臭氧水)根據(jù)清洗工藝可生成穏定濃度流量的臭氧水 無(wú)金屬?zèng)A染臭氧水采用自主研発技術(shù),生成適用於半導(dǎo)體清洗的臭氧水小型化?重量輕?無(wú)需冷卻水外形尺寸611W×590D×1317H, 重量約87kg搭載散熱器

無(wú)金屬污染循環(huán)式臭氧水生成裝置臭氧発生方式無(wú)聲放電法冷卻方式 空冷溶解法 射流方式臭氧水濃度測(cè)定 內(nèi)蔵 紫外線式臭氧水濃度計(jì)臭氧水濃度 MAX 60ppm MAX 80ppm臭氧水水流量 MAX 7L/min MAX 50L/min外寸 611W×590D×1317H -重量 87Kg -消費(fèi)電力 1kW -原料氧氣條件 圧力0.3MPa 純度99.5%(添加CO2或者N2)原料水條件 超純水?純水?市水 0.25MPa原料水溫度 25℃以下互鎖關(guān)系 漏水, 內(nèi)部圧力異常, 臭氧泄漏,臭氧発生器異常




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