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CY-PECVD-240T-SS 半導(dǎo)體CVD設(shè)備

參考價 60000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團隊憑借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識和豐富的實踐經(jīng)驗,先后研發(fā)出了多款材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請了多位國內(nèi)外重點高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點,推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界好評。

如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團隊為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負責到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠信、實力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。






磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,

半導(dǎo)體CVD設(shè)備采用等離子體增強型化學(xué)氣相沉積技術(shù),基本溫度低,沉積速率快,在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂,適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件,可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

主要功能及特點:
PECVD設(shè)備利用平板電容式輝光放電原理,將通入沉積室的工藝氣體解離并產(chǎn)生等離子體,被解離的基團在等離子體中重新發(fā)生化學(xué)反應(yīng),由于等離子體存在,促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進反應(yīng)活性基團的生成,從而降低沉積溫度,在具有一定溫度的基片上沉積形成薄膜??筛鶕?jù)工藝調(diào)節(jié)等離子體的密度和能量,控制薄膜的生長速率和微結(jié)構(gòu)。
產(chǎn)品參數(shù):

 

等離子增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備  

 

 

產(chǎn)品名稱  

桌面式4英寸平板等離子體增強化學(xué)氣相沉積PECVD  

產(chǎn)品型號  

CY-PECVD-240T-SS  

供電電源  

AC220V 50Hz  

射頻電源  

信號頻率  

13.56MHz  

功率輸出范圍  

0~500W (還可選擇150W, 300W, 1000W)  

工作腔體  

加熱溫度  

RT-500℃(還可選擇600℃,800℃,1000℃等)  

樣品臺尺寸  

Φ100mm(兼容4英寸及以下樣品)  

樣品臺轉(zhuǎn)速  

1-20rpm 可調(diào)  

腔體材質(zhì)  

不銹鋼  

觀察窗  

Φ60mm, 帶擋板  

供氣系統(tǒng)  

通道數(shù)  

3 (可根據(jù)需要選擇其他通道數(shù),其他氣體種類,其他測量范圍)  

測量單位  

質(zhì)量流量計  

測量范圍  

A 通道: 0200SCCM for O2    

B通道: 0200SCCM for N2  

C通道: 0200SCCM for Ar  

真空系統(tǒng)  

前級泵抽速  

1.1L/s  

分子泵抽速  

60L/s  

真空測量  

復(fù)合真空計  

真空度  

5.0*10-3Pa  

水冷機  

水流速  

10L/min  

冷卻功率  

50W/  

 

 

 

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