化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>鍍膜機(jī)>CY-EVZ270-I-HP-SS 熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復(fù)合型鍍膜儀
CY-EVZ270-I-HP-SS 熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復(fù)合型鍍膜儀
參考價(jià) | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CY-EVZ270-I-HP-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/18 13:10:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 63
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
簡(jiǎn)單介紹:
熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復(fù)合型鍍膜儀適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等
詳情介紹:
配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體,鍍膜過(guò)程可見(jiàn)。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵,能夠快速達(dá)到1.0E-4Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa,可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小,節(jié)省空間,能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用,一機(jī)多用,性價(jià)比突出,非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。
適用范圍:
適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復(fù)合型鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-EVZ270-I-HP-SS | |
樣品臺(tái) | 位 置 | 頂部設(shè)置 |
外形尺寸 | 直徑φ150mm | |
轉(zhuǎn) 速 | 0-20 rpm可調(diào) | |
可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 鎢舟 | |
蒸發(fā)電源 | 蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源 | |
濺射電源 | 直流電源 | |
濺射靶 | 數(shù)量2”×1 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ273mm×H300mm |
觀察窗口 | 直徑φ80mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開(kāi)啟方式 | 前開(kāi)門(mén)式 | |
膜厚測(cè)量 | 晶體膜厚測(cè)量?jī)x(也可選膜厚控制儀) | |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級(jí)泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速60L/S | |
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC220V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 600mm×500mm×850mm | |
整機(jī)功率 | 7KW | |
整機(jī)重量 | 120kg |