化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>CY-SPC12T-SS-UL 全自動(dòng)超聲波氣氛加熱勻膠機(jī)
CY-SPC12T-SS-UL 全自動(dòng)超聲波氣氛加熱勻膠機(jī)
參考價(jià) | ¥ 14000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CY-SPC12T-SS-UL
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/20 10:04:57
- 訪問次數(shù) 96
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超聲波氣氛加熱勻膠機(jī)是一款直徑300mm、靈活的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進(jìn)而通過高速旋轉(zhuǎn)使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨(dú)進(jìn)行旋涂操作。腔體內(nèi)布有加熱元件,可在勻膠后進(jìn)行烤膠操作。產(chǎn)品帶有兩路浮子流量計(jì)控制的氣路,可將惰性氣體通入腔體內(nèi),在勻膠時(shí)保護(hù)膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝、制版的表面涂覆??蓜蚰zzui大圓晶尺寸為12英寸,轉(zhuǎn)速可達(dá)3000rpm,加速度可達(dá)2000rpm;具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動(dòng)迅速,操作方便等優(yōu)點(diǎn),并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性,是一款性能優(yōu)良的產(chǎn)品.
加熱勻膠機(jī)產(chǎn)品特征:
1. 采用直流無(wú)刷電機(jī),單片機(jī)控制
2. 高清晰觸摸屏控制
3. 可進(jìn)行單步多步勻膠操作,可存儲(chǔ)五種程序,每種程序可設(shè)置五步操作
4. 防堵膠設(shè)計(jì)
5. 鋁合金腔體,堅(jiān)固耐用
6. 帶有超聲波,氣氛,加熱等多種輔助功能,為勻膠研究進(jìn)行多種輔助
超聲波氣氛加熱勻膠機(jī)產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品名稱 超聲波輔助氣氛勻膠機(jī) 產(chǎn)品型號(hào) CY-SPC12T-SS-UL 勻膠機(jī) 圓晶尺寸 12英寸 旋轉(zhuǎn)速度 30~3000rpm可調(diào) 旋轉(zhuǎn)加速度 30~2000rpm/s可調(diào) 單次*長(zhǎng)勻膠時(shí)間 3000s 勻膠腔體尺寸 φ390mm*90mm 電壓 220V 50Hz 功率 1.5KW 加熱溫度 0-100℃ 質(zhì)保時(shí)間 易損件除外,1年,終身技術(shù)支持 勻膠機(jī)真空吸盤 12寸 一個(gè)(標(biāo)配);6寸 一個(gè)(定制) 勻膠機(jī)定制純機(jī)械卡盤 12英寸 一個(gè)(額外定制);6英寸 一個(gè)(額外定制) 無(wú)油真空泵 型號(hào):AP-2000V 功率:0.55kw *低真空度:-700mmHg;-92Kpa *大空氣流量:200L/min;12M3/h 重量:10kg 超聲波系統(tǒng) 霧化頭材質(zhì) 鈦合金 頻率 50kHz 功率 30W 流量 0.55mL/s 微粒直徑 25um 霧化頭類型 錐型 霧化頭重量 0.3kg 超聲波電源尺寸 315*312*135mm 超聲波電源重量 5kg 注射泵 流量范圍 0.001uL/min-43.349mL/min 掉電記憶工能 保存設(shè)置參數(shù),重新上電后,無(wú)需設(shè)置 適用進(jìn)樣器規(guī)格 10uL-1000uL 適用注射器規(guī)格 1mL-60mL 加熱溫度 0-100℃ 線速度范圍 5um/min-65um/min 線速度調(diào)節(jié)分辨率 5um/min *大行程 140mm 行程分辨率 0.156um 額定線性推力 >90N 流量計(jì) 控制氣體種類 2種 氣體流速 16-160mL/min