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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 安徽科冪儀器有限公司
  • 品牌 科冪儀器
  • 型號
  • 產地 安徽省合肥市經濟技術開發(fā)區(qū)望客路科冪園區(qū)
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/3/18 10:11:04
  • 訪問次數(shù) 270

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安徽科冪儀器有限公司(Anhui Kemi Instrument Co.,LTD.)成立于2014年,總部設在安徽省合肥市,擁有近萬平方米的研發(fā)制造基地。公司持有A2級中國特種設備(壓力容器制造)生產資格許可證,是一家專注于科研儀器設備和中小試及產業(yè)化合成反應裝備研發(fā)、制造的國家高新技術企業(yè)。

科冪儀器依托中國科學技術大學等雄厚的科研力量,研制了多款具有自主知識產權的合成反應設備。技術驅動、方案營銷,專注于非標方案的設計和多維立體化服務。產品已成功進駐國內所有985、211高校實驗室及新材料、新能源、生物制藥、生態(tài)環(huán)境等戰(zhàn)略新興產業(yè)頭部企業(yè),并遠銷歐美、澳洲、中東等地,覆蓋國內外科研及企業(yè)客戶20000余家,助推研發(fā)應用4000余項,助力用戶發(fā)表SCI(一區(qū))論文900余篇。

 

高壓反應釜,管式爐,馬弗爐,固定床反應裝置,光催化反應裝置,其他定制設備

產地類別 國產 加熱方式 電阻絲
價格區(qū)間 面議 控溫精度 ±1℃
升溫速度(達到最高溫) 10℃/min 儀器種類 管式爐
應用領域 化工,生物產業(yè),石油,能源,制藥/生物制藥 最大功率 3kW
最高溫度 1150℃

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

產品特點:

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源,等離子體更穩(wěn)定;

滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區(qū);

可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長溫度更低。


技術參數(shù)

型號:TFE - 1200 - 50 - 220

設計溫度:1150℃(短期)

額定溫度:1100℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

控制精度:±1℃

爐管尺寸:Φ30/50/60*1200mm

爐膛尺寸:Φ80*220mm

加熱區(qū)長度:220mm

恒溫區(qū)長度:80mm

加熱元件:優(yōu)質國產電阻絲

額定功率:3KW

供氣系統(tǒng):

①三路高精度MFC

②量程0-500sccm(可定制)

射頻電源:

①射頻功率:5-500W;

②射頻頻率:13.56MHz;

③匹配方式:自動匹配

真空系統(tǒng):雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)

外形尺寸:1250*510*810mm

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)




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