阜陽5噸半導(dǎo)體超純水設(shè)備的工藝簡介：

1. 預(yù)處理系統(tǒng)

• 原水箱：采用不銹鋼材質(zhì)的立式圓桶，用于蓄水、沉淀和排放。配有進(jìn)水控制閥、自動(dòng)液位及低液位控制裝置，確保原水泵無水時(shí)停止運(yùn)行，水位到達(dá)高度后再自動(dòng)開啟原水泵。

• 原水泵：為預(yù)處理系統(tǒng)提供穩(wěn)定的供水流量和壓力，并配有管路回流裝置，以調(diào)節(jié)預(yù)處理系統(tǒng)的壓力及流量。

• 多介質(zhì)過濾器：利用石英砂等濾料，去除水中的懸浮物、膠體、顆粒雜質(zhì)等，降低水的濁度，保護(hù)后續(xù)設(shè)備。

• 活性炭過濾器：通過活性炭的吸附作用，去除水中的余氯、有機(jī)物、異色異味等，提高水的口感和質(zhì)量，同時(shí)還能延長反滲透膜的使用壽命。

• 阻垢加藥裝置：向水中添加阻垢劑，防止水中的鈣、鎂等離子在反滲透膜表面結(jié)垢，保證反滲透系統(tǒng)的正常運(yùn)行。

2. 反滲透系統(tǒng)

• 精密過濾器：進(jìn)一步去除水中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保進(jìn)入反滲透膜的水達(dá)到更高的清潔度要求。

• 高壓泵：為一級(jí)反滲透裝置提供足夠的壓力，使水分子能夠克服滲透壓，通過反滲透膜。

• 一級(jí)反滲透：在壓力作用下，水分子透過反滲透膜，而大部分溶解性鹽類、膠體、微生物、有機(jī)物等被截留，從而得到初級(jí)純化水。一級(jí)反滲透產(chǎn)水電導(dǎo)率可達(dá)到10μS/cm以下。

• 一級(jí)產(chǎn)水箱：用于儲(chǔ)存一級(jí)反滲透產(chǎn)生的純化水，為后續(xù)的二級(jí)反滲透提供水源。

3. 后處理系統(tǒng)

• 紫外線殺菌器：利用紫外線的殺菌作用，殺滅水中的細(xì)菌、病毒等微生物，確保超純水在儲(chǔ)存和使用過程中不受微生物污染。

• EDI系統(tǒng)（連續(xù)電去離子裝置）：通過離子交換樹脂和電場(chǎng)的作用，去除水中的離子，使純化水的電阻率達(dá)到18兆歐以上，滿足對(duì)水質(zhì)要求高的生產(chǎn)工藝需求。

• 拋光混床：作為最后的精處理工序，進(jìn)一步去除水中的微量離子和有機(jī)物，提高純化水的質(zhì)量。

• 用水點(diǎn)：將經(jīng)過上述處理后的純化水輸送到各個(gè)用水點(diǎn)，供工業(yè)生產(chǎn)使用。

綜上所述，阜陽5噸半導(dǎo)體超純水設(shè)備通過一系列精心設(shè)計(jì)的處理流程，從預(yù)處理到深度凈化，最終生產(chǎn)出高純度的超純水，滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對(duì)水質(zhì)的高要求。