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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>常用儀表>自動化儀表>過程儀表> Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F

Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F

參考價 25000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 上海進佳科學儀器有限公司
  • 品牌 HORIBA/堀場
  • 型號
  • 產(chǎn)地 日本
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/4/1 9:24:57
  • 訪問次數(shù) 586

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我公司代理進口品牌多年,有兩大業(yè)務(wù):horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國內(nèi)組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50、LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000,氣體濃度計IR-300、IR-400,汽化器有VE10、VE20、MV-2000,皂膜流量計SF/VP系列,真空計VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba。美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商,有多個自主品牌:Magnehelic、Flotect、Mercoid、Love,主要產(chǎn)品有:差壓表2000-250Pa、負壓表2000-500Pa2000-60pa、2000-25MBAR、2000-3KPA2000-1000PA;數(shù)顯變送器MS-111、MS111LCDMS121LCD、MS311LCDMS141LCD;防爆差壓開關(guān)1950-1-2F、1950-5-2F、1950-20-2F、1950G-1-2F-24、1950-0-2F;flotect流量開關(guān)V4-2-U、V6EPBBS1BATV6EPBBS3BAT、V6EPBBSLFflotect液位開關(guān)L6EPBBS3CCSA;風速變送器641-6-LED、641-12-LED、641RM-12-LED;轉(zhuǎn)子流量計RMB-11-SSV-APF、RMA-13-SSV-APFRMA-25-SSV-APF、RMA-150-SSV-APFRMB-51D-SSV-BPF、RMB-57D-SSV-BPF、RMB-85D-SSV-BPF、VFA-2-BV;高低壓報警開關(guān)A3000-1KPA-240VAC、A3000-750PA-240VAC3000MR-500PA、3000MR-60PA、3000MR25MM;防爆差壓開關(guān)AT23000MR、AT21910、AT21823、AT2MSAT21640、AT11910、AT1ADPS

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計等;韓國TKSUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,太陽能,暖通,空調(diào),食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環(huán)境監(jiān)測,工業(yè)制造和實驗室等領(lǐng)域。



氣體質(zhì)量流量計,熱式質(zhì)量流量計,熱式質(zhì)量流量控制器,液體質(zhì)量流量計,液體質(zhì)量流量控制器,壓力調(diào)節(jié)閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機

外形尺寸 169*134*34mmmm 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,汽車及零部件
介質(zhì) He、Ar 壓力控制范圍 100torr、1000torr
流量 100sccm 輸出信號 0-5V,或者RS485通訊
電源 ±15VDC 接口 1/4VCR、IGS

 

Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F

應(yīng)用于晶圓背面壓力控制器


 

暢銷型號:GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD

UR-Z712M、UR-Z712M-B、UR-Z722M、UR-Z722M-B、UR-Z732M、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B。

Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317FGR-300系列中的暢銷產(chǎn)品,實現(xiàn)晶圓背面氣體的壓力控制器,該氣體用于冷卻晶圓表面溫度。

Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F擁有高的穩(wěn)定性和精確性,常用氣體是氦氣和氬氣。

GR312F壓力控制器是0-5V或者RS485通訊,可以選擇GR317F,實現(xiàn)EtherCAT通訊。

 

特征

· 壓力控制更加穩(wěn)定和精確

· 質(zhì)量流量測量(可選)

· RS485通訊、EtherCAT通訊

· 符合 RoHS 標準


Horiba壓力控制器


 

Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F

技術(shù)參數(shù)

 


產(chǎn)品實物圖

 



應(yīng)用示例

在以下示例中,GR-312F、GR-314F、GR317F正在控制用于冷卻晶圓背面的氣體,晶圓通過靜電卡盤系統(tǒng)固定。

周邊產(chǎn)品:

Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F

 

Horiba品牌介紹:

HORIBA是全球著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。

 

本公司同時提供日本HORIBASTEC的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器、數(shù)字壓力自動調(diào)節(jié)閥、壓力控制器、薄膜硅真空計、汽化器、殘余氣體分析儀。

 

壓力控制器暢銷型號

UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。


Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F與壓力控制器 配套的有 質(zhì)量流量計,暢銷型號:

進口高性能數(shù)字型號: SEC-Z512KX、SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXN、SEC-Z532MGX、SEC-Z514KX、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGXN、SEC-Z534MGXSEC-Z517MGX

SEC-Z527MGXN.

進口低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGMSEC-N122MGM、SEC-N124MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGMSEC-N172R、SEC-N176R.

 

模擬型質(zhì)量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541

液體質(zhì)量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO

液體質(zhì)量流量計LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M

 

 

本公司同時提供日本HORIBASTEC的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器、數(shù)字壓力自動調(diào)節(jié)閥、壓力控制器、薄膜硅真空計、汽化器、殘余氣體分析儀。

 

 

 



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