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FLTZ-204 多通道獨(dú)立控溫冷水機(jī) 封裝溫度控制Chiller
參考價(jià) | ¥ 147800 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
- 品牌 冠亞恒溫
- 型號(hào) FLTZ-204
- 產(chǎn)地 江蘇省無(wú)錫市錫山區(qū)翰林路55號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/2/27 16:09:37
- 訪問(wèn)次數(shù) 618
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制冷加熱循環(huán)器、加熱制冷控溫系統(tǒng)、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng)、加熱循環(huán)器、低溫冷凍機(jī)、低溫制冷循環(huán)器、冷卻水循環(huán)器、工業(yè)冷處理低溫箱、低溫冷凍機(jī)、加熱制冷恒溫槽等設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-50萬(wàn) |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
多通道獨(dú)立控溫冷水機(jī) 封裝溫度控制Chiller
多通道獨(dú)立控溫冷水機(jī) 封裝溫度控制Chiller
光刻工藝是半導(dǎo)體制造中其中溫度控制對(duì)于確保光刻膠的均勻性和光刻過(guò)程的穩(wěn)定性影響比較大。以下是一些光刻工藝中溫度控制Chiller的應(yīng)用案例:
案例一:光刻膠儲(chǔ)存和處理的溫度控制
應(yīng)用描述:光刻膠對(duì)溫度非常敏感,其化學(xué)活性和粘度會(huì)隨溫度變化而變化。因此,維持光刻膠在儲(chǔ)存和處理過(guò)程中的適宜溫度是必要的。
解決方案:使用Chiller為光刻膠儲(chǔ)存和處理系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的溫度控制,通常保持在5°C到10°C之間,以保持光刻膠的化學(xué)性能。
效果:光刻工藝溫度控制chiller通過(guò)維持適宜的溫度,提高了光刻膠的穩(wěn)定性和一致性,減少了光刻過(guò)程中因光刻膠性能變化引起的缺陷。
案例二:光刻機(jī)內(nèi)部環(huán)境的溫度控制
應(yīng)用描述:光刻機(jī)內(nèi)部的環(huán)境溫度對(duì)光刻精度有直接影響。溫度變化可能導(dǎo)致光刻機(jī)機(jī)械部件的熱膨脹或收縮,影響對(duì)準(zhǔn)精度。
解決方案:在光刻機(jī)內(nèi)部安裝Chiller系統(tǒng),通過(guò)恒溫恒濕系統(tǒng)維持光刻車間的溫度在22°C±1°C范圍內(nèi)。
效果:光刻工藝溫度控制chiller準(zhǔn)確的溫度和濕度控制提高了光刻過(guò)程的穩(wěn)定性和重復(fù)性,減少了因環(huán)境變化引起的缺陷。
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