KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀
參考價 | ¥50000-¥999999/臺 |
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質生產廠家
- 更新時間2025/3/17 10:30:38
- 訪問次數 310
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產地類別 | 進口 | 產品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
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價格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 應用領域 | 化工,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣,綜合 |
KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀是第八代臺式探針式輪廓儀,它凝結了逾40年的表面量測經驗。該行業(yè)的系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量,掃描范圍可達200mm,無需拼接。
出色的測量穩(wěn)定性通過結合UltraLite® 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺實現。通過使用點擊式樣品臺控制、頂視和側視光學元件以及具有光學變焦功能的高分辨率相機,可快速輕松地設置程式。KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀支持2D或3D測量,可使用多種濾波、調平和分析算法來測量表面形貌。通過圖形識別、序列和特征檢測實現全自動測量。
特征
臺階高度:納米級到1000微米
恒力控制:0.03至15mg
無需拼接即可掃描樣品的全直徑
視頻:5MP高分辨率彩色相機
弧形校正:可消除探針的弧形運動引起的誤差
軟件:簡單易用的軟件界面
生產能力:具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能的全自動測量
應用
臺階高度:2D和3D臺階高度
紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
形狀:2D和3D翹曲形狀
應力:2D和3D薄膜應力
缺陷檢測:2D 和 3D 缺陷表面形貌
工業(yè)
高校、實驗室和研究所
半導體和化合物半導體
LED:發(fā)光二極管
太陽能
MEMS:微機電系統(tǒng)
數據存儲
汽車
醫(yī)療器械