KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀
| 參考價(jià) | ￥50000-￥999999/臺 |
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2025/3/17 10:30:38
- 訪問次數(shù) 324
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣,綜合 |
KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀是第八代臺式探針式輪廓儀，它凝結(jié)了逾40年的表面量測經(jīng)驗(yàn)。該行業(yè)的系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達(dá)200mm，無需拼接。
出色的測量穩(wěn)定性通過結(jié)合UltraLite® 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺實(shí)現(xiàn)。通過使用點(diǎn)擊式樣品臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀支持2D或3D測量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測量表面形貌。通過圖形識別、序列和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動測量。
特征
臺階高度：納米級到1000微米
恒力控制：0.03至15mg
無需拼接即可掃描樣品的全直徑
視頻：5MP高分辨率彩色相機(jī)
弧形校正：可消除探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
軟件：簡單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力：具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能的全自動測量
應(yīng)用
臺階高度：2D和3D臺階高度
紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲形狀
應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷檢測：2D 和 3D 缺陷表面形貌
工業(yè)
高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
LED：發(fā)光二極管
太陽能
MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)
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