KLA NanoFlip納米壓痕儀配備高精度的XYZ移動(dòng)馬達(dá)，以定位樣品進(jìn)行測試，并配備翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，以定位樣品進(jìn)行觀察成像。InView軟件標(biāo)配一套包括多種測試協(xié)議的測試方法，KLA NanoFlip納米壓痕儀且支持用戶創(chuàng)建自己的測試方法。InForce 50作動(dòng)器在真空和氣氛條件下表現(xiàn)同樣出色。InView 軟件可以記錄SEM或其它顯微鏡圖像，并與力學(xué)測試數(shù)據(jù)同步。革命性的FIB-to-Test技術(shù)容許將樣品傾斜90°，實(shí)現(xiàn)從FIB到壓痕測試的無縫轉(zhuǎn)換，而無需重新安裝樣品。

產(chǎn)品特色

• InForce 50作動(dòng)器采用電容式位移傳感和電磁力驅(qū)動(dòng)，且壓頭易于更換

• InQuest高速控制器電路，數(shù)據(jù)采集速率可達(dá)100kHz，時(shí)間常數(shù)最快為20µs

• XYZ運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)樣品定位

• SEM視頻采集實(shí)現(xiàn)SEM圖像和力學(xué)測試數(shù)據(jù)同步

• 壓頭校準(zhǔn)系統(tǒng)，集成在軟件中，可實(shí)現(xiàn)快速、準(zhǔn)確的壓頭校準(zhǔn)

• InView設(shè)備控制和數(shù)據(jù)處理軟件，與Windows^®10兼容，可選測試方法開發(fā)工具，實(shí)現(xiàn)用戶自定義實(shí)驗(yàn)

產(chǎn)品應(yīng)用

• 硬度和模量測試（基于Oliver-Pharr模型）

• 連續(xù)剛度測量

• 快速材料力學(xué)性能成像

• ISO 14577硬度測試

• 納米動(dòng)態(tài)力學(xué)分析(DMA)

• 定量劃痕和磨損測試

適用行業(yè)

• 大學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)室和研究所

• 微柱和微球制造

• MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

• 材料制造（壓縮/拉伸/斷裂測試）

• 電池和組件制造