PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）

低顆粒活化度和顆粒排放以及快速、可靠的打開和關(guān)閉循環(huán)方面的顆粒性能是半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中大氣傳輸門的關(guān)鍵性能指標(biāo)。

新的V77 HV傳送門插件與L-Motion結(jié)合了優(yōu)秀的顆粒性能和優(yōu)化的可控性，可實(shí)現(xiàn)可調(diào)、快速的循環(huán)時(shí)間。

通過優(yōu)化各種設(shè)計(jì)特征，如板上用于均勻密封壓縮的扭桿、完好封裝的致動(dòng)器、無潤滑環(huán)境和具有可調(diào)速度曲線的真實(shí)L-Motion，以避免任何閉合沖擊，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的顆粒性能。

V77具有可調(diào)速度曲線的優(yōu)秀真實(shí)L-Motion是通過PRECESS的特殊L-Motion技術(shù)實(shí)現(xiàn)的，該技術(shù)有兩個(gè)獨(dú)立的執(zhí)行器，用于垂直和水平移動(dòng)。結(jié)果：一種高度可靠的執(zhí)行器概念，具有快速、穩(wěn)定、可調(diào)節(jié)和無沖擊的運(yùn)動(dòng)。好處：更長的正常運(yùn)行時(shí)間和更好的可控性。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）

特征：

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（Semi E21-94 Semi E24-92 Semi-E21.1-1296）

l閥蓋法蘭真空側(cè)的防塵密封，幾乎消除了顆粒物進(jìn)入波紋管

l無顆粒和振動(dòng)

優(yōu)點(diǎn)：

l實(shí)現(xiàn)精確的L動(dòng)作

l易于維護(hù)

應(yīng)用：

l半導(dǎo)體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群和內(nèi)聯(lián)真空系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)