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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>有掩模光刻機(jī)>CG-920 半自動光刻機(jī)

CG-920 半自動光刻機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 CG-920
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/5/22 10:40:27
  • 訪問次數(shù) 281

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

        我司有專業(yè)的檢測儀器和工藝實驗設(shè)備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時我司與中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺保持技術(shù)上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù),滿足客戶對自營品牌的需求,讓客戶從而實現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運(yùn)營。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢:提供定制化服務(wù),滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費。其中低速勻膠平穩(wěn),結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進(jìn)口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設(shè)備

半自動光刻機(jī)產(chǎn)品概述:

應(yīng)用于3D封裝、LED、微機(jī)電系統(tǒng)、化合物半導(dǎo)體、功率器件等領(lǐng)域。

主要配置:自動對準(zhǔn)、自動曝光、LED光源、機(jī)器視覺對準(zhǔn)系統(tǒng)、高精度硅片承載臺、自動楔形誤差補(bǔ)償系統(tǒng)。

LED 光源:3波長任意配置,支持更多應(yīng)用場景。

高分辨率、高均勻性;使用壽命長,維護(hù)簡便:

機(jī)器視覺對準(zhǔn)系統(tǒng):頂部和底部雙模式對準(zhǔn),大視野、高精度;4種照明光可選,工藝適應(yīng)性強(qiáng); 手動、自動模式自由切換。

半自動光刻機(jī)技術(shù)參數(shù):

掩模版 、硅片    

 

硅片尺寸

8"/ 6"

硅片厚度

max.10 mm

掩模版尺寸

9" ×9"/ 7" ×7" (SEMI)

掩模版厚度

max.6.35 mm

曝光模式    

 

接觸方式

軟接觸、硬接觸、真空接觸

曝光間隙

0~1000 μm

間隙精度

1 μm

曝光強(qiáng)度

0 ~ ≥40mw/cm 2

曝光鏡頭    

 

光源類型

LED

曝光波長

365nm,405nm,

光強(qiáng)均勻性

≤4% 8" / ≤3% 6"

分辨率

真空接觸≤1um

 

硬接觸 ≤1.5μm

 

軟接觸≤2.2μm

 

間隙 ≤3.6μm

對 準(zhǔn) 模 式

 

頂部對準(zhǔn)

< ±1 μm

可選配底部對準(zhǔn)

< ±2 μm

頂部對準(zhǔn)調(diào)焦范圍

5 mm

底部對準(zhǔn)調(diào)焦范圍

5 mm

硅 片 承 載 臺

 

運(yùn)動范圍

X:±5mmY:±5mmθ :   ±5°

分辨率

0.04 μm

頂 部 對 準(zhǔn) 鏡 頭  

 

移動范圍

6" 40~150mm

 

8" 40~200 mm

底部對準(zhǔn)鏡頭

 

移動范圍

6" 40~150mm

 

8" 40~200 mm

用 戶 界 面

 

Windows 10

可存儲工藝菜單

場務(wù)需求  

 

真空< -0.8 kPa ; 氮氣> 0.5 Mpa ; 壓縮空氣: 0.6~0.8 Mpa

供 電 需 求

 

電壓: 230 V  ± 10%

頻率: 50~60 Hz

尺 寸 重 量  

 

長 ×寬 ×: 1200  × 1000 mm

高: 1973 mm重量 : ~ 400 kg

 

 

 



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