EBARA荏原  干式真空泵 ESA15-D

EBARA荏原  干式真空泵 ESA15-D

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝，確保高潔凈度的真空環(huán)境。

制藥行業(yè)：用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié)，避免油污染對藥品質(zhì)量的影響。

化工行業(yè)：適用于腐蝕性氣體或易凝結(jié)氣體的抽除，滿足化工生產(chǎn)中的特殊需求。

食品加工：在食品包裝和脫氣過程中，干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。

技術(shù)發(fā)展趨勢

隨著工業(yè)技術(shù)的進(jìn)步，干式真空泵正朝著更高效率、更低噪音和更智能化的方向發(fā)展。例如，采用變頻技術(shù)優(yōu)化能耗，通過智能監(jiān)控系統(tǒng)實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和故障診斷。此外，新材料的應(yīng)用也進(jìn)一步提升了干式真空泵的耐腐蝕性和使用壽命?？傊墒秸婵毡靡云錈o污染、高效和環(huán)保的特點，在現(xiàn)代工業(yè)中扮演著越來越重要的角色，成為高潔凈度工藝中的關(guān)鍵設(shè)備。

工作原理

干式真空泵通過機(jī)械運(yùn)動直接抽除氣體，無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動，將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮，最終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。