EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT397M

EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT397M

渦輪分子泵是一種高真空泵，利用高速旋轉的渦輪葉片與氣體分子碰撞，將氣體分子從進氣口推向排氣口，從而實現(xiàn)高真空的獲取。它由德國物理學家貝克（W. Becker）于1958年發(fā)明，是現(xiàn)代高真空和超高真空技術中的核心設備之一。渦輪分子泵通常與前置泵（如干式泵或旋片泵）結合使用，以在寬壓力范圍內實現(xiàn)高效抽氣。

特點

高轉速：渦輪分子泵的轉子轉速通常高達每分鐘數(shù)萬轉，甚至超過10萬轉，以確保氣體分子能夠被有效捕捉和排出。

無油污染：與油封式真空泵不同，渦輪分子泵在運行過程中無需油液潤滑，避免了油蒸氣對真空環(huán)境的污染，特別適合高潔凈度要求的應用。

寬壓力范圍：渦輪分子泵能夠在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范圍內高效工作，與前置泵配合可實現(xiàn)從大氣壓到超高真空的抽氣。

高抽氣速度：渦輪分子泵對輕質氣體（如氫氣、氦氣）和中質氣體（如氮氣、氧氣）具有較高的抽氣速度，能夠快速建立并維持高真空環(huán)境。

結構精密：渦輪分子泵的轉子葉片和定子葉片采用精密加工技術，確保高速運轉時的穩(wěn)定性和可靠性。

低振動和低噪音：現(xiàn)代渦輪分子泵采用先進的動平衡技術和減振設計，運行時振動和噪音極低

應用領域

半導體制造：在半導體生產(chǎn)過程中，渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝，提供高潔凈度的真空環(huán)境。

科學研究：在粒子加速器、核聚變實驗、表面物理和材料科學等領域，渦輪分子泵用于實現(xiàn)超高真空環(huán)境。