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MAS4-BE 曝光系統(tǒng)一體機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 MAS4-BE
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/4/17 10:11:30
  • 訪問次數(shù) 260

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設備的生產(chǎn)商。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導體等科技領域。

        我司有專業(yè)的檢測儀器和工藝實驗設備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時我司與中國科學技術大學微納加工平臺、合肥工業(yè)大學微納加工平臺保持技術上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務,滿足客戶對自營品牌的需求,讓客戶從而實現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運營。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢:提供定制化服務,滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費。其中低速勻膠平穩(wěn),結束低粘度光阻勻膠依賴進口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設備

產(chǎn)品應用:   

    MAS4-BE光刻系統(tǒng)一體機可實現(xiàn)一機多用,集成化程度更高,占地面積更小。廣泛應用于高校研究所實驗的光刻工藝,可完成涂膠、烘烤、曝光、顯影工序


工藝步驟:

涂膠(放片、滴膠、旋轉(zhuǎn)、取片)→烤機(放片、烘烤、取片)→曝光(放片、曝光、取片)→顯影(放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、取片)→取片(轉(zhuǎn)移下道工序)。

控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)由PC和PLC控制模式,實時顯示設備運行過程中各工藝功能執(zhí)行情況。 可實現(xiàn)自由的配方編輯,自由修改、編輯、存儲、及調(diào)用工藝配方等。 


技術參數(shù):

曝光系統(tǒng)一體機

外觀

不銹鋼

 曝光

 

曝光模式:接觸式一次曝光


處理尺寸

Ф102mm


光源  4"LED 專用曝光頭


 涂膠

轉(zhuǎn)速:20-10000RPM


紫外光中心波長:365nm



加減速度:350-10000RPM/S


操作方式:手動



編程:50組20步

 顯影

轉(zhuǎn)速:20-3000 R.P.M


烤膠

溫度:RT~300℃


擺臂:自動



面板材質(zhì):鋁合金


配置:一路顯影、一路水



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