VC202 Rietschle里其樂半導體制造高純度真空泵
| 參考價 | ￥ 35980 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 東莞市飛粵真空科技有限公司
- 品牌 Rietschle/里其樂
- 型號 VC202
- 產(chǎn)地 中國東莞
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/4/16 19:32:34
- 訪問次數(shù) 46
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BUSCH普旭，Rietschle里其樂/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國BOC Edwards愛德華，日本ULVAC愛發(fā)科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法國ALCATEL阿爾卡特，Pfeiffer普發(fā)等。
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品類型 | 有油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 3萬-5萬 | 儀器種類 | 旋片泵 |
| 應用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品/農(nóng)產(chǎn)品,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥/生物制藥 |
產(chǎn)品性能特點
1. 0污染干式運行
- 無油螺桿技術(shù)（VSH/VS系列）通過SEMI F47認證，避免碳氫化合物污染，滿足晶圓廠Class 1潔凈室標準。
2. 耐腐蝕性
- 全氟橡膠密封+316L不銹鋼流道設(shè)計，耐受Cl?、HF、SiH?等蝕刻/沉積工藝中的強腐蝕性氣體。
3. 高真空穩(wěn)定性
- 真空度可達0.01 mbar，波動范圍±0.5%，保障薄膜沉積（PVD/CVD）、離子注入工藝的均勻性。
4. 抗微振動設(shè)計
- 精密動平衡轉(zhuǎn)子與減震底座，振動值＜2.5 mm/s，防止納米級制程中的設(shè)備精度偏移。
5. 智能監(jiān)控系統(tǒng)
- 集成IoT傳感器實時監(jiān)測溫度、壓力、氣體成分，支持預測性維護與工藝數(shù)據(jù)追溯。
電子半導體行業(yè)核心應用場景
1. 晶圓制造前道工藝
- 光刻膠涂覆真空吸附、蝕刻腔體抽氣（干法蝕刻）、化學氣相沉積（CVD）真空環(huán)境維持。
2. 封裝測試環(huán)節(jié)
- 真空貼膜、芯片鍵合真空除泡、散熱片高精度貼合工藝。
3. 特種氣體處理
- 安全抽排砷烷（AsH?）、磷烷（PH?）等高危氣體，配備尾氣凈化聯(lián)鎖系統(tǒng)。
4. 真空鍍膜設(shè)備
- 為OLED蒸鍍、磁控濺射提供穩(wěn)定真空基礎(chǔ)壓力（≤1×10?? mbar）。
5. 設(shè)備腔體預抽
- 快速將腔體真空度從大氣壓降至工藝閾值，縮短設(shè)備準備時間30%以上。
核心優(yōu)勢總結(jié)
? 潔凈度保障：無油設(shè)計，通過ISO 8573-1 Class 0認證，杜絕微粒污染風險。
? 工藝適配性：真空范圍覆蓋0.01~1000 mbar，適配28nm至3nm制程需求。
? 長壽命運行：特殊涂層轉(zhuǎn)子抗腐蝕壽命超60,000小時，MTBF超25,000小時。
? 節(jié)能低碳：比油擴散泵節(jié)能65%，助力半導體企業(yè)達成ESG目標。
客戶案例參考（示例）
某頭部晶圓代工廠應用成果：
- 在12英寸硅片CVD工藝中替換傳統(tǒng)渦輪分子泵，采用Rietschle VSH 200干式螺桿真空泵：
? 真空系統(tǒng)能耗降低58%，年省電費超500萬元
? 晶圓表面污染率從0.12%降至0.03%，良率提升1.2%
? 實現(xiàn)氣體泄漏率<1×10?? Pa·m3/s，工藝穩(wěn)定性達水平
Rietschle里其樂真空泵以 0污染、耐腐蝕、超穩(wěn)定 三大核心價值，成為半導體制造從成熟制程到封裝的關(guān)鍵支撐。其技術(shù)設(shè)計深度契合半導體行業(yè)對工藝潔凈度、設(shè)備可靠性及能耗控制的追求，助力企業(yè)突破技術(shù)瓶頸、降低生產(chǎn)成本并加速智能化升級。Rietschle里其樂半導體制造高純度真空泵
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