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MSD-150D 桌上型成像儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 MSD-150D
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/5/22 10:29:37
  • 訪問次數(shù) 167
產(chǎn)品標(biāo)簽

顯影涂膠顯影成像裝置光刻顯影

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

        我司有專業(yè)的檢測儀器和工藝實驗設(shè)備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時我司與中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺保持技術(shù)上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù),滿足客戶對自營品牌的需求,讓客戶從而實現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運(yùn)營。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢:提供定制化服務(wù),滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費(fèi)。其中低速勻膠平穩(wěn),結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進(jìn)口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設(shè)備

桌上型成像儀MSD-150D用于對顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝,適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應(yīng)用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶。

本司也提供8寸、12寸桌上型顯影機(jī),更多功能如吹氣、背洗等請咨詢。

桌上型成像儀技術(shù)規(guī)格:

項目

規(guī)格

 

 

主體

外殼材質(zhì):鏡面不銹鋼

處理樣品尺寸:6寸晶圓以內(nèi)

承盤:PTFE

馬達(dá):

轉(zhuǎn)速:20-3000 R.P.M

搖臂:自動

操作界面:7寸觸摸屏

 

顯影裝置

藥液裝置:

顯影 x1(控溫可選)

DIW  x1

 

 

控制系統(tǒng)

系統(tǒng): PLC

使用接口:7寸觸屏

配方:手動和自動模式

編程 : 50 組 20 步

 

 

安全裝置

晶圓承盤真空滲液保護(hù):

真空檢知:

數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護(hù)

運(yùn)行結(jié)束報警提示

 

 

附件

真空泵x1

顯影罐x1

去離子水罐x1

廢液桶x1

真空吸盤x1

 

 



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