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MKW-3000 磁學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,快速響應(yīng)客戶需求。同時(shí)上海麥科威在快速擴(kuò)展海外市場(chǎng),并設(shè)立新加坡分公司,輻射東南亞市場(chǎng)。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測(cè)試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結(jié)爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī);  - 探針臺(tái),低溫探針臺(tái),微探針臺(tái);  - 金剛石劃片機(jī); - 球焊機(jī),鍥焊機(jī);  - 磁控濺射鍍膜機(jī);  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學(xué)膜厚儀; -貼片機(jī)-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓?。?等離子清洗機(jī)、去膠機(jī);-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機(jī)、無(wú)掩膜光刻機(jī); - 勻膠機(jī); - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽(yáng)能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機(jī)-離子注入-劃片機(jī)、裂片機(jī)光刻機(jī)(針尖/電子束光刻機(jī)EBL,紫外光刻機(jī),激光直寫光刻機(jī)),鍍膜機(jī)(磁控濺射機(jī),電子束蒸發(fā)機(jī),化學(xué)沉積機(jī),微波等離子沉積機(jī),原子層沉積機(jī)  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術(shù), 安徽格恩半導(dǎo)體, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技, 矽品半導(dǎo)體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),偉創(chuàng)力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽(yáng)能,廣東萬(wàn)和集團(tuán),西安西測(cè)股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來(lái)汽車, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽(yáng)能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料, 珠海珍迎機(jī)電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風(fēng)華技股份, 浙江中能合控股集團(tuán),固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導(dǎo)體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué), 汕頭大學(xué), 南方醫(yī)科大學(xué), 清華大學(xué), 北京大學(xué), 復(fù)旦大學(xué), 西北工業(yè)大學(xué), 南京醫(yī)科大學(xué), 香港中文大學(xué), 香港城市大學(xué), 蘇州大學(xué), 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院, 南京大學(xué)合肥國(guó)家試驗(yàn)室, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院, 華南理工大學(xué),華東師范大學(xué),江南大學(xué),重慶26所, 深圳大學(xué), 南方科技大學(xué), 深圳技術(shù)大學(xué), 理化技術(shù)研究所, 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學(xué), 上海硅酸鹽研究所, 中國(guó)航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體設(shè)備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機(jī),光刻機(jī)

全新一代磁學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

2013 年 3 月makeway 公司在美國(guó)物理協(xié)會(huì)年會(huì)上,發(fā)布了全新設(shè)計(jì)的磁學(xué)測(cè)量系統(tǒng):MPMS3系統(tǒng)。該系統(tǒng)仍舊基于SQUID探測(cè)技術(shù),但不是MPMS(SQUID)XL系列和SQUID-VSM系統(tǒng)的簡(jiǎn)單升。MPMS3系統(tǒng)是makeway公司潛心開發(fā)多年的結(jié)晶,在該產(chǎn)品上集成了大量的全新技術(shù)。

對(duì)比于MPMS XL和SQUID-VSM磁學(xué)測(cè)量系統(tǒng),MPMS3將二者的優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行了融合。MPMS3系統(tǒng)外觀雖然與SQUID-VSM相似,但系統(tǒng)進(jìn)行了重新設(shè)計(jì),同時(shí)具備了SQUID-VSM的高速高精度測(cè)量,以及MPMS XL的DC測(cè)量模式、Raw Data功能和Point- to-Point測(cè)量功能。系統(tǒng)帶有全新的DC Scan測(cè)量模式,VSM測(cè)量模式以及交流測(cè)量模式可供用戶選擇,大程度的滿足用戶的測(cè)量要求。MPMS XL用戶和SQUID-VSM用戶將會(huì)非常容易的上手使用MPMS3。另外對(duì)于SQUID-VSM用戶,我們也提供了升方案,用戶可將SQUID-VSM系統(tǒng)升至MPMS3系統(tǒng)。

MPMS3系統(tǒng)帶有的新式無(wú)液氦Evercool選件,可實(shí)現(xiàn)全氦氣啟動(dòng)和運(yùn)行,擺脫對(duì)液氦的依賴。

全新一代磁學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

MPMS廣泛分布于世界上幾乎所有相關(guān)的前沿實(shí)驗(yàn)室,在學(xué)術(shù)界具有良好口碑。MPMS系統(tǒng)由一個(gè)基系統(tǒng)和各種拓展功能選件構(gòu)成。基系統(tǒng)同時(shí)提供變磁場(chǎng)測(cè)量環(huán)境和變溫度場(chǎng)測(cè)量環(huán)境,拓展功能選件包括各種全自動(dòng)磁學(xué)測(cè)量功能選件,如AC磁化率測(cè)量系統(tǒng)選件(進(jìn)行交流磁化率的測(cè)量,頻率0.1Hz - 1kHz,磁矩靈敏度≤ 5×10-8 emu (typical))、高溫爐選件(把儀器高可測(cè)量溫度拓展到1000K)、超低磁場(chǎng)選件以及磁場(chǎng)重置選件(用于退磁可獲取達(dá)0.005G的超低磁場(chǎng))。而且MPMS帶有液氦自循環(huán)系統(tǒng),能夠全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)液氦的循環(huán)利用,地方便了獲取液氦不方便、或者液氦價(jià)格昂貴的地區(qū)用戶。

所包含的領(lǐng)域有物理、材料、化學(xué)、生物、地質(zhì)等學(xué)科。所能研究測(cè)量的材料涵蓋金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、磁性材料、合金材料、有機(jī)材料、介電材料和高分子材料等等。材料的形式可以是:塊材、薄膜、粉末、液體、單晶及納米材料。

MPMS3全新技術(shù)

1) RapidTemp-快速溫控技術(shù)

系統(tǒng)從300K勻速降至10K僅需15分鐘,從10K穩(wěn)定到1.8K也僅需5分鐘

2) QuickSwitch-超導(dǎo)開關(guān)技術(shù)

超導(dǎo)開關(guān)在超導(dǎo)態(tài)和正常態(tài)之間的轉(zhuǎn)換僅需要1秒鐘時(shí)間

3) FastLab-快速數(shù)據(jù)采集技術(shù)

系統(tǒng)的超導(dǎo)磁體允許700Oe/s的勵(lì)磁速度,在零場(chǎng)下僅需4秒數(shù)據(jù)平均時(shí)間(data average time),系統(tǒng)便能達(dá)到1x10-8emu的測(cè)量精度;并且系統(tǒng)允許用戶在掃場(chǎng)模式下進(jìn)行高精度的測(cè)量。

5K溫度下鐵磁薄膜MH曲線

MPMS3 DCScan與MPMS XL對(duì)比


MPMS3系統(tǒng)參數(shù):

溫度區(qū)間:

1.9~400 K 連續(xù)控制

降溫速度:

30 K/min 300 K>T>10 K

10 K/min 10 K>T>1.8 K

樣品腔內(nèi)徑:

9 mm

磁場(chǎng)強(qiáng)度:

±7 T

磁場(chǎng)均勻度:

4 cm 范圍內(nèi)達(dá)到 0.01%

勵(lì)磁速度:

4 - 700 Oe/s

樣品振動(dòng)范圍:

0.1-8 mm (峰值)

測(cè)量磁矩:

2 emu(DC Scan);

>100 emu(VSM)

測(cè)量靈敏度:

≤2500 Oe:

≤5×10-8 emu(DC scan)

≤1×10-8 emu(VSM)

>2500 Oe:

≤6×10-7 emu(DC scan)

≤8×10-8 emu(VSM)

MPMS選件

MPMS3 Evercool選件(氦氣啟動(dòng)和運(yùn)行,無(wú)需液氦)介紹(點(diǎn)擊打開)

MPMS3 OVEN選件(可將測(cè)量溫區(qū)拓展1000K)介紹(點(diǎn)擊打開)

MPMS3 AC Susceptibility Measurement選件介紹(點(diǎn)擊打開)

MPMS3 Ultra-Low Field Capability (ULF)選件介紹(點(diǎn)擊打開)

MPMS3水平旋轉(zhuǎn)桿、磁光測(cè)量和電學(xué)測(cè)量選件介紹(點(diǎn)擊打開)

MPMS3 iQuantum He3選件(點(diǎn)擊打開)

MPMS測(cè)試數(shù)據(jù)

高溫直流、交流磁化率測(cè)量數(shù)據(jù)

鎳材料高溫直流、交流磁化率測(cè)量數(shù)據(jù)

磁化率測(cè)試數(shù)據(jù)

由哈維·穆德學(xué)院教授Professor Eckert提供的鐵磁薄膜在較弱磁場(chǎng)下的磁矩測(cè)量數(shù)據(jù),展現(xiàn)了MPMS3對(duì)小磁矩樣品測(cè)量的精準(zhǔn)性

磁化率DC模式測(cè)試數(shù)據(jù)

相對(duì)于MPMS XL而言,MPMS3系統(tǒng)使用的DC測(cè)量模式的測(cè)量效率得到了質(zhì)的飛躍。

磁場(chǎng)掃場(chǎng)速率測(cè)試數(shù)據(jù)

相對(duì)于MPMS XL系統(tǒng),MPMS3的掃場(chǎng)速率大幅提升。

光磁測(cè)量選件測(cè)試數(shù)據(jù)

場(chǎng)冷(100Oe)和零場(chǎng)冷并使用DC模式測(cè)量的光磁數(shù)據(jù)。

水平旋轉(zhuǎn)桿測(cè)量選件測(cè)試數(shù)據(jù)

鐵磁性薄膜材料±2T磁場(chǎng)下 0-90° 4個(gè)不同角度測(cè)量得到的MH曲線





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