一、產(chǎn)品定位與核心功能
有機(jī)洗濾芯清洗機(jī)專為半導(dǎo)體、醫(yī)藥、光學(xué)等行業(yè)的高精度濾芯（如PTFE、PEEK、金屬燒結(jié)濾芯）設(shè)計(jì)，用于清除吸附的有機(jī)污染物（光刻膠、油污、蠟質(zhì)）、顆粒及結(jié)垢。其核心功能包括：

多模式清洗：化學(xué)噴淋+兆聲波（Megasonic）空化剝離，深度分解有機(jī)物；

無損傷干燥：熱風(fēng)循環(huán)或真空烘干，避免高溫變形；

在線監(jiān)測：顆粒計(jì)數(shù)器實(shí)時(shí)檢測清洗效度，確保濾芯通量恢復(fù)至初始標(biāo)準(zhǔn)。

二、技術(shù)原理與工藝優(yōu)勢

有機(jī)污染物去除機(jī)制

化學(xué)作用：選用環(huán)保溶劑（如HFE、DLF）或定制配方，溶解濾芯微孔內(nèi)的有機(jī)殘留；

物理強(qiáng)化：兆聲波（>80kHz）產(chǎn)生微射流，剝離深孔污染物，不損傷濾芯結(jié)構(gòu)。

模塊化設(shè)計(jì)

支持多規(guī)格濾芯（直徑5mm~500mm，長度≤1m）；

可擴(kuò)展紫外線消毒模塊，滅殺微生物污染。

三、關(guān)鍵組件與安全性

密封腔體：不銹鋼材質(zhì)+耐腐蝕涂層，兼容酸性/堿性清洗液；

安全防護(hù)：防爆電機(jī)（ATEX認(rèn)證）、溶劑回收系統(tǒng)、VOC過濾裝置；

智能控制：PLC編程實(shí)現(xiàn)多段工藝（預(yù)洗→主洗→漂洗→干燥），支持遠(yuǎn)程監(jiān)控。

四、應(yīng)用場景與效益

典型用途：

半導(dǎo)體濕法設(shè)備過濾芯（如蝕刻液、清洗液回路）；

光刻機(jī)循環(huán)水系統(tǒng)濾芯維護(hù)。

客戶價(jià)值：

延長濾芯壽命3~5倍，降低耗材成本；

避免手動(dòng)清洗導(dǎo)致的二次污染或損傷；

滿足ISO 14644潔凈度要求，提升工藝穩(wěn)定性。

五、選型與服務(wù)

配置選項(xiàng)：可選自動(dòng)上下料機(jī)械臂、溶劑濃度監(jiān)測、氮?dú)獗Ｗo(hù)功能；

合規(guī)性：符合SEMI F47、ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，支持CE/RoHS認(rèn)證；

售后支持：提供工藝驗(yàn)證、溶劑配比優(yōu)化及定期維護(hù)培訓(xùn)。

有機(jī)洗濾芯清洗機(jī)通過化學(xué)-物理聯(lián)合清洗與智能化控制，實(shí)現(xiàn)濾芯高效再生，解決精密過濾系統(tǒng)的堵塞與污染問題，是保障高純度流體工藝連續(xù)性的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于制造領(lǐng)域的清潔鏈環(huán)節(jié)。