MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-N160

MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-N160

L 型閥

AB/AE/ABR/AER 系列

軸封方式（波紋管密封、O 形圈密封）可根據(jù)使用目的選擇。

16A~50A 可用于單作用和雙作用。

所有尺寸均與反壓兼容。

真空閥（Vacuum Valve）是專門用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動(dòng)、調(diào)節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門。由于真空系統(tǒng)對(duì)密封性、材料放氣率和耐壓差有嚴(yán)格要求，真空閥的設(shè)計(jì)與普通閥門有顯著區(qū)別。

真空閥根據(jù)工作原理可分為：

截止型真空閥（如真空擋板閥、真空蝶閥）——用于切斷或接通氣流。

調(diào)節(jié)型真空閥（如真空微調(diào)閥、針閥）——用于精確控制氣體流量和壓力。

放氣閥（如真空破空閥）——用于向真空腔體引入大氣，平衡壓力。

真空閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、航天模擬、粒子加速器、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域，是真空系統(tǒng)的關(guān)鍵組件。

真空閥的特點(diǎn)

特殊密封結(jié)構(gòu)

金屬密封（如銅墊圈、無氧銅刀口密封）適用于超高真空（UHV）環(huán)境，橡膠密封（如氟橡膠、丁腈橡膠）適用于中低真空。

無油設(shè)計(jì)

高潔凈真空閥采用干式（無潤(rùn)滑）結(jié)構(gòu)，避免油蒸氣污染真空環(huán)境，適用于半導(dǎo)體和光學(xué)鍍膜行業(yè)。

多種驅(qū)動(dòng)方式

手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)或電磁驅(qū)動(dòng)，適應(yīng)不同自動(dòng)化需求。

真空閥的優(yōu)點(diǎn)

超高密封性

采用金屬密封或氟橡膠（FKM）等特殊材料，確保閥門在超高真空（≤10?? Pa）環(huán)境下仍能保持極低泄漏率。

部分高精度真空閥采用波紋管密封，避免閥桿處泄漏。

低放氣率

閥體和密封材料經(jīng)過特殊處理（如電拋光、鍍鎳或烘烤除氣），減少材料在真空環(huán)境下的氣體釋放。

耐壓差能力強(qiáng)

可承受從大氣壓（10? Pa）到超高真空（10?? Pa）的巨大壓差，確保閥門在開關(guān)過程中不發(fā)生變形或泄漏。