LAB210系列 氣浮直驅(qū)直線臺(tái)是納米級(jí)定位精度的氣浮平臺(tái)，采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，利用空氣彈性勢(shì)能作為支撐導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)120Hz以上。氣浮平臺(tái)是正負(fù)壓設(shè)計(jì)，空氣負(fù)壓保證空氣導(dǎo)軌的正常氣隙。對(duì)于一些大體積負(fù)載在氣浮導(dǎo)軌上不均勻分布的應(yīng)用，這種設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)就體現(xiàn)出來了，非常適合重負(fù)載的應(yīng)用。

專業(yè)的設(shè)計(jì)和制造技術(shù)鑄就了LAB210平臺(tái)杰出的幾何性能，超薄的氣隙有利于減少步進(jìn)穩(wěn)定時(shí)間， LAB210平臺(tái)的最小步進(jìn)優(yōu)于10nm；1mm和25mm步進(jìn)快速整定測(cè)試可以分別在40ms和170ms內(nèi)整定到±100nm。同時(shí)LAB210平臺(tái)的平面度、直線度以及Pitch/Yaw/Roll擺角指標(biāo)控制也相當(dāng)出色。

LAB210系列 氣浮直驅(qū)直線臺(tái)有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力，空載速度可達(dá)2000mm/s，空載加速度可達(dá)2g，主要應(yīng)用于大型光學(xué)透鏡檢測(cè)、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測(cè)、精密制造和封裝等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

LAB210系列平臺(tái)最小步進(jìn)測(cè)試

10nm最小步進(jìn)（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器）

20nm最小步進(jìn)（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器）

LAB210系列平臺(tái)動(dòng)態(tài)性能測(cè)試

2.2mm@40ms@±350nm（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器）

備注：

（1）適配-ASH反饋，配置線性放大器；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（3）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮?dú)?。氣壓根?jù)平臺(tái)實(shí)際負(fù)載重量可調(diào)。

（5）為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關(guān)，信號(hào)輸入到運(yùn)動(dòng)控制器連接急停（E-STOP）端口。