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VPS-RF210 大型真空等離子體清洗設(shè)備 電容耦合等離子體

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳深光達(dá)科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 VPS-RF210
  • 產(chǎn)地 深圳
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/8/18 14:34:17
  • 訪問次數(shù) 125

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我們注于等離子(PLASMA)清洗工藝技術(shù)和相關(guān)裝備的研發(fā)生產(chǎn),核心技術(shù)源自歐美二十年等離子體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。公司核心團(tuán)隊(duì)來自中科院等離子體物理研究所、德國Diener、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、北京大學(xué)等國內(nèi)科研機(jī)構(gòu),其開發(fā)的等離子清洗裝備已廣泛應(yīng)用于高校、半導(dǎo)體、汽車、電子行業(yè)、3C行業(yè)、印刷行業(yè)生物等行業(yè)域。深光達(dá)科技成立至已為清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、比亞迪、蘭州大學(xué)、深圳大學(xué)、香港大學(xué)、提供過等離子處理設(shè)備和解決方案, 我們將不斷為材料表面處理開發(fā)創(chuàng)新方案,致力于為用戶提供等離子表面處理與檢測整體解決方案。深圳深光達(dá)科技有限公司深耕等離子技術(shù)域十余載,表面處理解決方案服務(wù)商。公司自主研發(fā)的真空、大氣常壓及微波等離子清洗設(shè)備,精準(zhǔn)清洗與活化,設(shè)備連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性達(dá)99.6%以上,通過ISO 9001/14001雙體系認(rèn)證。其低溫真空等離子去膠機(jī)**在半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)每小時(shí)300片晶圓的量產(chǎn)處理,刻蝕均勻性誤差<3%,助力客戶良品率提升20%+。針對汽車內(nèi)飾、醫(yī)療導(dǎo)管等復(fù)雜曲面,**常壓旋轉(zhuǎn)噴槍系統(tǒng)**可完成360°處理,表面張力值穩(wěn)定提升至72mN/m以上?,F(xiàn)已在富士康、比亞迪等200+企業(yè)產(chǎn)線中實(shí)現(xiàn)7×24小時(shí)不間斷作業(yè),設(shè)備MTBF突破8000小時(shí),以航空品質(zhì)重新定義工業(yè)清洗標(biāo)準(zhǔn)。主營產(chǎn)品有等離子清洗機(jī),等離子去膠機(jī),實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),低溫等離子清洗機(jī),大氣等離子清洗機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子刻蝕機(jī),晶圓清洗機(jī),反應(yīng)離子刻蝕機(jī),旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

 

 

等離子清洗機(jī),等離子清洗器,實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),低溫等離子清洗機(jī),大氣等離子清洗機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子刻蝕機(jī),晶圓清洗機(jī),旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

大型真空等離子體清洗設(shè)備VPS-RF210簡介:

VPS-RF210是一款大型真空等離子體清洗設(shè)備,適用于大批量工業(yè)生產(chǎn)使用。等離子體清洗通過其中的活性離子與物體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)來達(dá)到清洗的目的。例如通過氧氣清潔物體表面的有機(jī)物,產(chǎn)生氧化反應(yīng),氧等離子體和污染物產(chǎn)生二氧化碳、氧化碳和水。通過氮?dú)怆婋x形成的等離子體可以與部分子結(jié)構(gòu)發(fā)生關(guān)鍵反應(yīng),因此它也是一種活性氣體,但與氧氣和氫氣相比,顆粒相對較重;在清洗和活化的同時(shí),可以達(dá)到一定的轟擊和蝕刻效果,防止部分金屬表面氧化。如今,等離子清洗機(jī)廣泛用于當(dāng)代半導(dǎo)體、電路等行業(yè),在元件封裝前、芯片鍵合前可借助等離子清洗處理,其優(yōu)點(diǎn)是清除效率高,不會對樣品表面造成損傷,從而提升產(chǎn)品的質(zhì)量。

 

VPS-RF210 大型真空等離子體清洗設(shè)備

 

大型真空等離子體清洗設(shè)備特點(diǎn):歐美放電技術(shù),專業(yè)型放電結(jié)構(gòu),科學(xué)仿真等離子體分布均勻,處理效果均勻。


產(chǎn)品應(yīng)用:提高親水性、改善粘接性、表面微刻蝕、有機(jī)物去除、提高表面能、提高印刷油墨附著力。


產(chǎn)品參數(shù):

型號

VPS-RF210

等離子頻率

13.56MHz 自動(dòng)阻抗匹配

極限真空度

10-100Pa

功率

0-1000W連續(xù)可調(diào)

腔體材質(zhì)

進(jìn)口級316L不銹鋼/航空鋁合金(可選)

腔體尺寸

600(W)*600(D)*600(H)mm

腔體容積

210L

單層有效處理面積

W560mm x D520mm

氣路數(shù)量

2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮?dú)?,氫氣等(腐蝕性氣體需定制)

處理層數(shù)

8層(可定制)

控制方式

PLC+觸摸屏

真空泵

油泵/干泵(可選)

電源

AC380V,50/60Hz

 



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