EDWARDS愛德華真空泵 現(xiàn)貨 EH500 A30206946 現(xiàn)貨

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EH泵結(jié)構(gòu)緊湊，且具有較高的抽速。EH泵必須與合適的備用泵配合使用

提供至少為增壓泵體積容量的十分之一。EH泵可在最大流量下運行

持續(xù)入口壓力為1000毫巴。通過使用兩個或更多EH泵，可以實現(xiàn)更低的系統(tǒng)壓力

系列。

在所有EH泵上，液動驅(qū)動裝置/齒輪箱通過壓力均衡器與泵出口相連

并構(gòu)成真空系統(tǒng)的一部分。連接通道中設(shè)有過濾器，用于去除

清除碎屑，從而防止?jié)櫥秃洼S承受到污染。為了使系統(tǒng)更加清潔，請進行排空

通過將排氣口（圖1中的項目5或圖2中的項目6）連接到泵入口或端蓋/齒輪蓋，以完成安裝

連接至外部真空泵。

碳?xì)浠衔顴H泵使用碳?xì)浠衔镉?，如愛德華茲Ultragrade 20。使用PFPE（全氟聚醚）油的EH泵版本也可用于抽吸富氧或其他活性或腐蝕性氣體的真空系統(tǒng)。EH泵不得用于泵送過氧化物。所有EH2600和EH4200型號的泵在泵出口處都裝有后冷卻器，以降低排氣和轉(zhuǎn)子溫度。EH泵在泵的正常操作參數(shù)范圍內(nèi)安全處理非和蒸氣，如本手冊中定義的那樣。所有EH泵都具有ISO入口法蘭和出口法蘭連接

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜霍層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥等。

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