LPAR系列 機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)是大中空尺寸、高精度360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直驅(qū)控制，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，相比常規(guī)蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺(tái)，它速度快，無(wú)齒輪間隙，有更好的定位精度和重復(fù)定位精度。LPAR系列轉(zhuǎn)臺(tái)采用杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，選用薄壁軸承，有利于減小轉(zhuǎn)動(dòng)摩擦和節(jié)省空間。選用高精度圓光柵位置反饋，定位精度±3角秒，重復(fù)性小于±1.5角秒，水平負(fù)載可達(dá)70kg，機(jī)械性能非常突出。

LPAR系列 機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)采用大直徑圓形軸承設(shè)計(jì)，系統(tǒng)剛性強(qiáng)，重復(fù)性好，重負(fù)載使用條件小也不會(huì)損失性能。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，LPAR系列轉(zhuǎn)臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量小于0.05角秒。

LPAR系列轉(zhuǎn)臺(tái)具備靈活的配置選項(xiàng)，客戶可以選擇模擬量反饋或者數(shù)字量反饋，針對(duì)半導(dǎo)體客戶的應(yīng)用要求，LPAR系列轉(zhuǎn)臺(tái)可以提供了旋轉(zhuǎn)單元和氣管選項(xiàng)，有效地解決了360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)繞線問(wèn)題，也可加配限位限制行程。由于LPAR系列轉(zhuǎn)臺(tái)具備大中空、側(cè)向高度低、定位精度和重復(fù)性好、負(fù)載能力強(qiáng)的特點(diǎn)，它被廣泛使用在半導(dǎo)體檢測(cè)和封裝等場(chǎng)合。

LPAR 轉(zhuǎn)臺(tái)在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)測(cè)試：

在位穩(wěn)定性測(cè)試優(yōu)于±0.000014°（±0.05角秒）（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，線性放大器）

0.0000135°（0.05角秒）最小步進(jìn)測(cè)試（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器）

0.000027°（0.1角秒）最小步進(jìn)測(cè)試（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器）

備注：

（1）適配-AS圓光柵反饋；

（2）空載指標(biāo)，速度取決于反饋分辨率、實(shí)際負(fù)載、驅(qū)動(dòng)器。

（3）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；