北崎供應(yīng) ULVAC愛(ài)發(fā)科HR300 多級(jí)羅茨干式真空泵
參考價(jià) | ¥ 12304 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 北崎國(guó)際貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
- 型號(hào) 北崎供應(yīng)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/6/7 14:37:55
- 訪問(wèn)次數(shù) 68
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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ULVAC愛(ài)發(fā)科HR300 多級(jí)羅茨干式真空泵
ULVAC愛(ài)發(fā)科HR300 多級(jí)羅茨干式真空泵
可以在氣態(tài)下排放高溫區(qū)域熱均衡
CVD 和蝕刻產(chǎn)生的升華廢氣排放物。
“Model:UR” 甚至可以高于 “Model:HR”。
由于安裝了密封
性密封電機(jī),因此非常安全。
瞬時(shí)停止:在 1000 毫秒內(nèi)實(shí)施瞬時(shí)停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時(shí)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能:
可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過(guò)使用專用軟件和計(jì)算機(jī)通信,可以進(jìn)行集中監(jiān)控。
用
CVD 設(shè)備
蝕刻設(shè)備
灰化裝置
ALD、ALH 等
型 | HR60 | HR90 | HR300型 | HR600 型 | HR1200 型 | ||||
使用的泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
MPB | - | - | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | ||||
最大 抽速 | 50 赫茲 | m3/h (升/分鐘) | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
60 赫茲 | m3/h (升/分鐘) | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | |||
極限壓力 | 帕 | 5 | 0.67 | ||||||
最大入口壓力 (入口壓力) | 大氣壓力 *1 | ||||||||
最大排氣口壓力 (排氣壓力) | 帕 | 1~大氣壓 | |||||||
進(jìn)氣口 (CE 規(guī)格) | VG50(KF50) 系列 | VG80型 (KF50) | VG80(KF80) 系列 | VG100型 (KF100) | |||||
排氣口 | 肯氟烴40 | ||||||||
質(zhì)量 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
電力 | 三個(gè)階段 | 交流電(Hz) | 200(50/60), 220(60) | ||||||
當(dāng)前值 | 穩(wěn)態(tài) | 一個(gè) | 7.1 (200V 時(shí)) | 11.2 (200V 時(shí)) | 7.8 (200V 時(shí)) | 12.9 (200V 時(shí)) | 15.4 (200V 時(shí)) | ||
最大值 | 一個(gè) | 7.3 (200V 時(shí)) | 11.8 (200V 時(shí)) | 8.1 (200V 時(shí)) | 13.8 (200V 時(shí)) | 18.9 (200V 時(shí)) | |||
冷卻水臨時(shí)壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | |||||||
吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
N2 吹掃 | 軸 | SLM 系列 | 5 | ||||||
加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 |
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