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化工儀器網(wǎng)>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設備>濕法清洗設備> 爐前清洗機 芯矽科技

爐前清洗機 芯矽科技

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/6/10 11:31:25
  • 訪問次數(shù) 54

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統(tǒng)及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導地位,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

非標定制 根據(jù)客戶需求定制

一、產品概述

爐前清洗機是光伏電池片(如PERC、TOPCon)和半導體晶圓制造中的設備,用于硅片/晶圓進入高溫擴散爐、氧化爐或退火爐前的 surface cleaning,通過化學腐蝕、物理剝離及干燥工藝,去除表面污染物(顆粒、金屬雜質、有機物、氧化層等),確保爐內工藝的良率與穩(wěn)定性。其核心目標包括:

消除污染源:防止顆粒或金屬殘留在高溫下擴散,導致電池片效率下降或芯片電學缺陷。

提升界面質量:清潔表面保障薄膜沉積(如SiNx、TCO)或摻雜均勻性。

延長爐管壽命:減少硅片攜帶的污染物在爐內沉積,降低維護頻率。

二、核心技術與功能

多工藝清洗模塊

高頻振動(1-3MHz)增強空化效應,剝離頑固顆粒,適用于高深寬比結構(如邊緣金字塔絨面)。

非接觸式清洗,避免機械損傷,兼容薄硅片(<180μm)。

支持SC-1(NH?OH + H?O?)、SC-2(HCl + H?O?)、DHF(稀釋HF)等配方,針對性去除有機物、金屬污染及氧化層。

噴淋臂360°旋轉設計,配合流體仿真技術優(yōu)化流速,確保硅片全域覆蓋,避免陰影效應。

化學噴淋系統(tǒng):

兆聲波輔助清洗(Megasonic):

石英舟處理系統(tǒng)

超聲波震蕩分解頑固雜質,噴淋沖洗殘留化學液,確保舟體潔凈度。

石英舟承載硅片進入清洗槽,支持210mm×210mm(光伏)至300mm(半導體)尺寸,單次處理量可達50-200片。

酸堿交替清洗石英舟表面殘留PSG(磷硅玻璃)或微粒,防止爐內交叉污染。

自動推入式舟型清洗:

超聲波+噴淋組合:

干燥與防二次污染

旋干(Spin Dry):高速旋轉(3000-8000rpm)甩干液體,適合平整表面。

氣吹干燥(N? Blow):高純氮氣垂直/水平吹掃,避免水漬殘留,適用于粗糙表面(如絨面電池片)。

IPA脫水法:異丙醇置換水分后氣吹,防止水斑缺陷,常用于半導體級清洗。

智能化控制與監(jiān)測

支持物聯(lián)網(wǎng)(IoT)連接,遠程監(jiān)控設備狀態(tài)并預警維護需求。

集成激光顆粒計數(shù)器(如KLA標準),實時反饋清洗效果,數(shù)據(jù)可追溯。

溫度(±0.5℃)、流速、壓力、pH值在線監(jiān)測,確?;瘜W液活性穩(wěn)定。

時間/工藝段可編程(如SC-1→DHF→DI Water rinse多步流程)。

參數(shù)精準調控:

潔凈度檢測:

遠程運維:

三、設備優(yōu)勢與行業(yè)適配

高效產能:

單片清洗周期短(<3分鐘/批),兼容自動化產線(如與擴散爐聯(lián)動)。

支持24小時連續(xù)運行,滿足光伏大規(guī)模量產需求(如GW級產線)。

低損傷工藝:

非接觸式傳輸(如真空吸附或伯努利吸盤),避免硅片崩邊或劃痕。

兆聲波替代傳統(tǒng)刷洗,杜絕機械應力導致的隱裂風險。

環(huán)保與節(jié)能:

化學液閉路循環(huán)系統(tǒng),減少廢液排放量(回收率>80%)。

熱能回收設計(如烘干余熱預熱新批次硅片),降低能耗。

行業(yè)應用場景:

光伏領域:PERC/TOPCon電池片擴散爐前清洗,去除制絨后殘留的金屬雜質(如Fe、Cr)。

半導體領域:氧化爐前清洗,保障外延生長界面質量;退火爐前處理,避免應力缺陷。

特殊工藝:TSV(硅通孔)清洗、功率半導體(如IGBT)背面金屬污染去除。

爐前清洗機通過化學腐蝕、物理剝離與智能監(jiān)控,為高溫工藝提供潔凈表面保障,是光伏高效電池與半導體制程的關鍵設備。其技術迭代聚焦于更高均勻性、更低損傷與環(huán)保性,持續(xù)推動半導體/光伏產業(yè)降本增效。



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