重慶5噸/小時電子超純水設備的工藝簡介，基于行業(yè)標準和技術特點整理：

重慶5噸/小時電子超純水設備

一、核心工藝路線

電子超純水制備工藝主要分為三類，5噸規(guī)模設備以反滲透（RO）+電去離子（EDI）組合工藝為主流，兼顧環(huán)保、穩(wěn)定性和自動化需求：

1. 傳統(tǒng)離子交換工藝（較少采用）

• 流程：
  原水 → 多介質過濾 → 活性炭過濾 → 精密過濾 → 陽床 → 陰床 → 混床 → 超純水箱 → 后置保安過濾器

• 特點：

• 初投資低，但需頻繁酸堿再生，運維成本高且污染環(huán)境14。

• 適用于小型實驗室或低頻次用水場景。

2. 反滲透（RO）+離子交換組合工藝

• 流程：
  原水 → 預處理 → RO系統(tǒng) → 混床 → 超純水箱 → 后置過濾 → 用水點

• 特點：

• RO降低混床負荷，減少酸堿用量，但仍有部分化學再生需求14。

• 適用于中等規(guī)模電子工廠，平衡成本與環(huán)保性。

3. 反滲透（RO）+電去離子（EDI）工藝（主流方案）

• 流程：
  原水 → 預處理 → RO系統(tǒng) → EDI模塊 → 超純水箱 → UV殺菌 → 后置保安過濾器 → 用水點

• 核心優(yōu)勢：

• 環(huán)保性：無需化學再生，EDI通過電場連續(xù)去除離子，無二次污染24。

• 穩(wěn)定性：RO脫鹽率≥99%，EDI產水電阻率≥15MΩ·cm，滿足半導體、光伏等高標準需求35。

• 自動化：PLC控制系統(tǒng)實時監(jiān)測電導率、TOC、壓力等參數，實現(xiàn)無人值守14。

二、關鍵工藝環(huán)節(jié)

1. 預處理系統(tǒng)

• 多介質過濾器：去除懸浮物、膠體、鐵銹（精度≥5μm）14。

• 活性炭過濾器：吸附余氯、有機物，保護RO膜性能15。

• 軟化器（可選）：降低鈣鎂離子濃度，防止RO膜結垢（原水硬度高時必選）35。

• 精密過濾器：5μm濾芯，進一步保護RO膜14。

2. 反滲透（RO）系統(tǒng)

• 高壓泵：316L不銹鋼材質，提供進水壓力（1.0-1.5MPa）14。

• RO膜組：陶氏BW30-400IG DRY或同類膜，脫鹽率≥99%，產水5噸/小時35。

• 回收率：60-75%（根據原水TDS調整）4。

3. EDI精處理單元

• EDI模塊：電滲析與離子交換樹脂結合，連續(xù)去除殘余離子，產水電阻率≥15MΩ·cm24。

• 拋光混床（可選）：核級樹脂進一步除鹽，電阻率提升至≥18.2MΩ·cm（超純需求）35。

4. 后處理與儲存

• UV殺菌器：254nm波長滅活微生物，防止儲水箱二次污染35。

• 終端過濾：0.22μm微孔濾膜，確保顆粒物＜1ppt4。

• 儲水箱：316L不銹鋼材質，氮氣保護或循環(huán)抑菌系統(tǒng)，容量≥5噸14。

三、技術參數與合規(guī)性

四、運維與成本

1. 維護要點：

• 預處理：每3-6個月更換濾芯，定期清洗RO膜（酸/堿洗）45。

• EDI模塊：檢查電流、電壓，防止結垢或通道堵塞25。

2. 運行成本：

• 能耗：約2-3元/噸（電費+泵耗）4。

• 耗材：RO膜壽命3-5年，EDI模塊5-8年，混床樹脂1-2年更換